[发明专利]CIGS薄膜太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种CIGS薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：

将形成阻挡层的衬底放入溅射腔，在所述阻挡层上溅射形成掺杂层，所述掺杂层为钠掺杂钼层；

在溅射形成所述掺杂层时，检测钠离子含量，并根据所述钠离子含量向所述溅射腔通入水蒸气。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，

在步骤所述检测钠离子含量，并根据所述钠离子含量向所述溅射腔通入水蒸气中包括：

预置钠离子含量的最低阀值A，在溅射时间大于等于缓冲时间T，且当检测所述钠离子的含量小于所述最低阀值A时，向所述溅射腔通入水蒸气。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在步骤所述检测钠离子含量，并根据所述钠离子含量向所述溅射腔通入水蒸气中包括：

预置钠离子含量的最低阀值A，实时检测所述钠离子含量，且当检测所述钠离子的含量小于所述最低阀值A时，向所述溅射腔通入水蒸气。

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，所述水蒸气通入所述溅射腔的量与所述钠离子含量呈非线性反比。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述溅射腔内填充有惰性气体；所述制备方法还包括:

检测所述溅射腔内水蒸气中氢离子的离子量和所述惰性气体的离子量；

当检测到的所述水蒸气中氢离子的离子量与检测到的所述惰性气体的离子量的比值超过预设标准比值阈时,停止通入所述水蒸气。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述预设标准比值阈为0.1-0.4。

7.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述最低阀值A为7*10¹⁹/cm³-7.5*10¹⁹/cm³；所述缓冲时间T为5min-15min。

8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，还包括：

溅射形成掺杂层后，在所述掺杂层上形成后续层；

所述后续层包括依次形成钼层、吸收层、第一缓冲层、第二缓冲层和窗口层。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述吸收层为铜、铟、镓、硒的混合层；

所述第一缓冲层为硫化镉层；所述第二缓冲层异氧化锌层；所述窗口层为掺铝氧化锌层。