[发明专利]一种真空镀膜生产线用传动机构

说明书

本发明公开了一种真空镀膜生产线用传动机构，其包括一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器，主动组件和从动组件分别设置在磁力耦合器的两侧，主动组件受电驱动，通过磁力耦合器将主动组件的运动传递给从动组件。与现有技术相比，该传动机构采用磁力耦合器连接主动轴和从动轴，主动轴和从动轴之间无直接接触，无机械传动，减少磨损，将动密封转换为静密封，保持各镀膜生产线中各腔室的气密性，有效防止出现漏气现象产生，该传动机构结构简单，能耗减少，节约资源，使用方便，使用寿命延长，安全性提高因此其应用前景十分广阔。

本案是申请号2013106885790的分案申请。

技术领域

本发明涉及真空镀膜生产线领域，具体说，是涉及一种真空镀膜生产线用传动机构。

背景技术

真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。

为了减少工艺的复杂性，镀膜生产线中的各腔室空间狭小，仅能容基片架穿过，基片架在各腔室中通过安装在各腔室的传动机构传送。现有技术中，一般是传动机构中传动轮安装在各腔室内用于基片架的传送，传动机构中的驱动件安装在镀膜生产线中的各腔室外，驱动件中的驱动轴伸入到各腔室内来驱动传动轮转动，然后再密封，但是这种密封属于动密封，驱动轴的旋转还是会造成各腔室的漏气现象出现。真空镀膜生产线中，需要真空环境镀膜，镀膜生产线各腔室的气密性需要非常优良，在各腔壁上打孔都会增大漏气的可能性，即使采用各种机械密封或填料密封都有可能造成密封失效，因此如何将驱动件的运动传递给腔室内的传动轮，又不影响镀膜流水线中各腔室的气密性是一个亟需解决的问题。

磁力传动是采用现代最新永磁材料或电磁力，使主动件与从动件之间靠磁力的超矩特性，实现无接触、无泄漏传递扭矩的一种新技术。实现这一技术的装置称为磁力驱动器，或称磁力耦合器、磁力联动器等。

磁力耦合器选用永磁材料制成，利用永磁材料的高磁能积、高矫顽力的特性把不同极性的磁体密集排列在一起，当没有外力作用时，主动两侧相对的不同极性相互吸合在一起，当主动侧在一起外力作用下产生位移，从动侧由于惯性及负载的作用使主动、从动两侧的磁极发生错位，此时主动、从动两侧的磁极除了异极的相互吸引力之外，还有同极的相互斥力作用。吸力和斥力形成了“推拉”作用力，从而带动从动侧位移，实现磁力传动。磁力传动整个传动过程中，无从动轴和主动轴的直接接触，将动密封转换为静密封，从而保持气密性。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种真空镀膜生产线用传动机构，将动密封转换为静密封，减少磨损，保持各镀膜生产线中各腔室的气密性。

为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下：

一种真空镀膜生产线用传动机构，包括：一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器，主动组件和从动组件分别设置在磁力耦合器的两侧，主动组件受电驱动，通过磁力耦合器使主动组件驱动从动组件运动。

优选地，主动组件包括一主动轴，从动组件包括一从动轴和一传动轮，从动轴带动传动轮转动，主动轴和从动轴设置在磁力耦合器的两侧，磁力耦合器连接主动轴和从动轴。

优选地，主动组件进一步包括一带轮和一皮带，带轮设置在主动轴上，皮带连接真空镀膜生产线中的电机和主动轴上的带轮，主动轴受真空镀膜生产线中电机驱动。