[发明专利]蒸镀坩埚和蒸镀装置

说明书

本发明蒸镀技术领域，提出一种蒸镀坩埚，该蒸镀坩埚包括坩埚埚体、坩埚盖体以及隔垫环；坩埚埚体具有环形的第一连接面；坩埚盖体具有环形的第二连接面；隔垫环设置为与第一连接面以及第二连接面相适配的环形，隔垫环位于第一连接面与第二连接面之间。该蒸镀坩埚通过隔垫环将坩埚盖体与坩埚埚体隔离，使坩埚盖体与坩埚埚体之间的温差容易控制。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。

背景技术

在OLED显示面板中，OLED发光结构是一系列的有机材料薄膜夹在两个薄膜电极之间形成的类似三明治结构。有机材料薄膜的制造通常采用真空热蒸镀的方式，具体为：将有机材料放在一个坩埚中，然后在真空环境中加热坩埚，使坩埚中的有机材料气化向上喷射出，沉积在上方温度较低的玻璃基板上，在玻璃基板上形成厚度为纳米量级的有机薄膜。

目前，常用的坩埚有圆桶状，圆桶状的蒸发源称为点蒸发源；还有长条槽状的坩埚称之为线蒸发源。参照图1、图2以及图3所示的线蒸发源用坩埚，该坩埚包括上下两部分设置的坩埚埚体1和坩埚盖体2，靠锁定螺栓4以及锁定螺母5将上下两部分的接触端面紧贴并锁紧。由于上下两部分紧贴，导热比较好，即使上下两部分采用不同的加热器加热，也不容易加大以及控制上下两部分的温差。再者，在蒸镀过程中，有机材料的蒸汽会进入上下两部分之间的空隙，在坩埚冷却后，有机材料的蒸汽也会冷却形成固体状将上下两部分粘连在一起，难以将上下两部分分开。

因此，有必要研究一种蒸镀坩埚和蒸镀装置。

所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的至少一种不足，提供一种易于控制温差的蒸镀坩埚和蒸镀装置。

本发明的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本发明的实践而习得。

根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀坩埚，包括：

坩埚埚体，具有环形的第一连接面；

坩埚盖体，具有环形的第二连接面；

隔垫环，设置为与所述第一连接面以及所述第二连接面相适配的环形，所述隔垫环位于所述第一连接面与所述第二连接面之间。

在本公开的一种示例性实施例中，所述隔垫环的与所述第一连接面接触的一面设置有至少一个孔洞。

在本公开的一种示例性实施例中，所述孔洞为连通所述坩埚埚体与所述坩埚盖体的通孔。

在本公开的一种示例性实施例中，所述通孔的与所述第一连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种。

在本公开的一种示例性实施例中，所述孔洞为第一盲孔。

在本公开的一种示例性实施例中，所述隔垫环的与所述第二连接面接触的一面设置有至少一个第二盲孔。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一盲孔的与所述第一连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种；所述第二盲孔的与所述第二连接面平行的截面的形状为多边形、圆形中的一种或多种。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一盲孔和所述第二盲孔中至少一个设置为与所述隔垫环相适应的环状。

在本公开的一种示例性实施例中，所述隔垫环的与所述第一连接面接触的部分设置为平面，以及所述隔垫环的与所述第二连接面接触的部分设置为平面。

根据本公开的一个方面，提供一种蒸镀装置，包括：

上述任意一项所述的蒸镀坩埚。