[发明专利]一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法

说明书

本发明公开一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，包括取镀膜不良的单晶PERC返工片，放置在装有HCl/H2O2混合液的槽中；将清洗后的返工片置于装有去离子水的清洗槽一中；将清洗过的返工片放置于装有HF/HCl混合液的槽体中；将清洗的返工片放置于装有去离子水的清洗槽二中；将经清洗槽二清洗过的返工片，放置于装有HF/HNO3混合酸液的槽体中；将用HF/HNO3混合酸液清洗后的返工片，放置于装有热水的慢提拉槽中；将处理后的返工片吹干，制绒。本发明的返工方法工艺简单，能大幅度提高生产效率，降低成本；能保持太阳能电池返工片电池效率偏差在0.1％以内，并有效解决外观和EL不良降级比例偏高的问题。

技术领域

本发明涉及晶体硅太阳能电池技术领域，尤其涉及单晶PERC太阳能电池技术领域，具体的是涉及一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法。

背景技术

单晶PERC太阳能电池的工艺流程比常规单晶太阳能电池的工艺流程较繁琐，由于工序繁多，因此带来了镀膜返工片的比例较常规电池的要高很多，大约5％(常规单晶约1％)。对于一间每日产量60万片太阳能电池片的工厂来说，一天的镀膜返工片就有3万片，大量硅片若不返工直接做成太阳能电池，都要降级处理甚至报废，造成生产成本的居高不下，导致企业很大的经济损失。

目前，单晶PERC镀膜返工片已有的处理方式包括：

1、单晶PERC镀膜返工片使用HF去膜后没有重新制绒，而是直接做成电池片，造成电池片外观及EL不良降级比例过高，效率较低；

2、单晶PERC镀膜返工片使用HF去膜后直接制绒，造成绒面偏大，效率偏低，外观及EL不良比例也偏高；

3、单晶PERC镀膜返工片使用HF去膜后，使用链式设备去除金字塔绒面和扩散PN结，链式设备和去膜及制绒的槽式设备生产连贯性不够，生产效率不高。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本发明提供一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，在保证效率的前提下，提高产品的品质，降低不合格品的比例，满足工厂高产出的要求。

为了实现上述目的，本发明采用的一种单晶PERC太阳能电池镀膜不良片的返工方法，具体包括以下步骤：

步骤1、取镀膜不良的单晶PERC返工片，放置在装有HCl/H2O2混合液的槽中清洗；

步骤2、将清洗后的返工片置于装有去离子水的清洗槽一中；

步骤3、将经清洗槽一清洗过的返工片放置于装有HF/HCl混合液的槽体中，去除SiNx/AlOx膜及金属离子；

步骤4、将清洗去膜后的返工片放置于装有去离子水的清洗槽二中；

步骤5、将经清洗槽二清洗过的返工片，放置于装有HF/HNO3混合酸液的槽体中，利用酸液腐蚀掉原有的金字塔绒面及去除扩散PN结；

步骤6、将用HF/HNO3混合酸液清洗后的返工片，放置于装有热水的慢提拉槽中，清洗前面槽体带进的酸液及将返工片表面的水脱掉；

步骤7、将处理后的返工片吹干，制绒。

所述步骤1中，采用HCl/H2O2混合液在常温下清洗，时间为80s-120s。