[发明专利]一种四级递减间距多圆柱阵列结构微通道过滤槽

权利要求书

1.一种四级递减间距多圆柱阵列结构微通道过滤槽，其特征在于：该微通道过滤槽包括主体结构(1)、流体入口(2)、椭圆形贮液池(3)、第一级圆柱阵列结构(4)、第二级圆柱阵列结构(5)、第三级圆柱阵列结构(6)、第四级圆柱阵列结构(7)、微流控通道(8)和下底板(9)；

流体入口(2)、椭圆形贮液池(3)、微流控通道(8)为主体结构(1)上的凹槽结构；第一级圆柱阵列结构(4)、第二级圆柱阵列结构(5)、第三级圆柱阵列结构(6)、第四级圆柱阵列结构(7)均为主体结构(1)上的孔洞结构，且各结构为芯片工作时液体的流动区域；所述主体结构(1)和下底板(9)通过上下键合固定，下底板(9)置于主体结构(1)底部，以支撑芯片的主体结构并提供流动空间；流体入口(2)通过微通道与椭圆形贮液池(3)连接，椭圆形贮液池(3)与微流控通道(8)连接；第一级圆柱阵列结构(4)、第二级圆柱阵列结构(5)、第三级圆柱阵列结构(6)、第四级圆柱阵列结构(7)设置在椭圆形贮液池(3)内；第一级圆柱阵列结构(4)、第二级圆柱阵列结构(5)、第三级圆柱阵列结构(6)和第四级圆柱阵列结构(7)并排布置在椭圆形贮液池(3)内；第一级圆柱阵列结构(4)、第二级圆柱阵列结构(5)、第三级圆柱阵列结构(6)和第四级圆柱阵列结构(7)之间为错列布置；第一级圆柱阵列结构(4)、第二级圆柱阵列结构(5)、第三级圆柱阵列结构(6)和第四级圆柱阵列结构(7)的圆柱阵列尺寸逐渐由大到小渐变；流体从流体入口(2)流至椭圆形贮液池(3)并到达第一级圆柱阵列结构，流体入口(2)位于椭圆形贮液池(3)中间部位，并与椭圆形贮液池(3)垂直相接；第一级圆柱阵列结构(4)由7个半径150μm，高120μm的圆柱构成，相邻两个圆柱间距为100μm，当流体经过第一级圆柱阵列结构时，大于100μm的固体垃圾会被停留在贮液池。

2.根据权利要求1所述的一种四级递减间距多圆柱阵列结构微通道过滤槽，其特征在于：所述主体结构(1)和下底板(9)由聚二甲基硅烷制成。

3.根据权利要求1所述的一种四级递减间距多圆柱阵列结构微通道过滤槽，其特征在于：流体从第一级圆柱阵列结构流至第二级圆柱阵列结构(5)，流体中所携带的固体垃圾均小于100μm。

4.根据权利要求1所述的一种四级递减间距多圆柱阵列结构微通道过滤槽，其特征在于：第二级圆柱阵列结构由10个半径120μm，高120μm的圆柱构成，相邻两个圆柱间距为80μm，大于80μm的固体垃圾会被停留在贮液池。

5.根据权利要求1所述的一种四级递减间距多圆柱阵列结构微通道过滤槽，其特征在于：流体从第二级圆柱阵列结构流至第三级圆柱阵列结构(6)，流体中所携带固体垃圾均小于80μm。

6.根据权利要求1所述的一种四级递减间距多圆柱阵列结构微通道过滤槽，其特征在于：第三级圆柱阵列结构由13个半径90μm，高120μm的圆柱构成，相邻两个圆柱间距为60μm，大于60μm的固体垃圾会被停留在贮液池；流体从第三级圆柱阵列结构流至第四级圆柱阵列结构(7)，所携带固体垃圾均小于60μm。

7.根据权利要求1所述的一种四级递减间距多圆柱阵列结构微通道过滤槽，其特征在于：第四级圆柱阵列结构由17个半径60μm，高120μm的圆柱构成，相邻两个圆柱间距为40μm，大于40μm的固体垃圾会被停留在贮液池，流体最终流至出口位置，该出口位置能够与任意形状的通道相连接，以达到向任意通道流入纯净流体的目的。