[发明专利]一种可控线性蒸发装置及镀膜方法

权利要求书

1.一种可控线性蒸发镀膜的方法，其特征在于，具体步骤为：

第一步，准备好基板，将加热材料放入坩埚内 ；设置阀门的开启闭合时间 ，关闭阀门；选择导管孔径和孔间距；

第二步，开启坩埚加热器和导管加热器，对所述坩埚和导管进行加热，同时开启阀门加热系统，对阀门进行加热，到达需求温度后，瞬间蒸发速率开始稳定；

第三步 ，开启阀门 ，调节开启程度，使瞬间蒸发速率达到最高点后稳定并维持一段时间，维持时间由所需蒸发材料的量和坩埚材料温度共同决定，时间越长蒸发出材料越多；

第四步，关闭阀门，坩埚开始重新积蓄压力；

第五步，重复步骤三至四 ，并调节第三步中的阀门开启时间和第四步中的阀门关闭时

间对比 ，直到达到所需的材料蒸镀速率；用于可控线性蒸发镀膜的装置包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器，所述坩埚和所述导管相连接构成线性蒸发源，在所述导管和所述坩埚之间设置阀门。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述加热材料为无机材料或有机材料。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述阀门为可控性阀门，通过阀门开关，来控制所述坩埚内材料气体的压力，进而在较短时间内改变材料气体的瞬间蒸发速率，通过阀门开启和关闭的时间比例，来准确调节平均蒸发速率。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述装置还包括控制系统，所述控制系统包括手动模式和自动模式，所述控制系统用来控制所述阀门的开关；所述手动模式即人为控制阀门的开启和关闭；所述自动模式为设置阀门每次开启的时间和关闭的时 间进行自动开启和关闭。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述控制系统由电脑控制，所述阀门开启程度在0—100％之间选择可调。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述阀门的外部设置阀门加热系统，用来防止材料气体在通过阀门由于压差变化造成的冷凝。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述线性蒸发源外层设置屏蔽 层，用以保证蒸发源内部温度不流失，也用以隔绝外部温度，避免对蒸发源进行干扰。

8.如权利要求1所述的方法 ，其特征在于 ，所述坩埚外部设置坩埚加热器，坩埚加热器对坩埚底部和侧面进行加热，实现对坩埚中的材料加热；所述导管加热器分 布于所述导管的外部，所述导管加热器对导管周围进行加热，进而维持材料在导管内保持 气体状态。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述导管的一侧分布若干蒸发孔，孔径的大小和间距通过软件模拟获得，以实现大面积的均匀沉积。