[发明专利]一种用于切割BGA封装的含有金属结合剂的金刚石切割片的制备方法有效
申请号: | 201711368160.1 | 申请日: | 2017-12-18 |
公开(公告)号: | CN108188942B | 公开(公告)日: | 2022-12-13 |
发明(设计)人: | 赵宁;周勇;冯达;林思聪 | 申请(专利权)人: | 西安锐凝超硬工具科技有限公司 |
主分类号: | B24D3/06 | 分类号: | B24D3/06;B24D3/34;B24D18/00 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 张铁兰 |
地址: | 710049 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 切割 bga 封装 含有 金属 结合 金刚石 制备 方法 | ||
1.一种用于切割BGA封装的含有金属结合剂的金刚石切割片的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
(1)粉末混炼:将金刚石粉末按30-80%的体积比加入到金属、陶瓷混合物粉末中得混合料,然后再将混合料按60%的体积比加入到注射成型剂中得原料;
其中金属、陶瓷混合物粉末由粒径10-30μm的30-35%Cu、10-20%Ni、30-35%CuSn20金属粉末和粒径5-30μm的8-10%Al2O3、10-12%SiC的陶瓷粉末组成;
所述金刚石粉末的粒度为50-100μm;
所述注射成型剂由聚乙烯、巴西棕榈蜡和硬脂酸按40:50:10的质量比混合;
(2)注射成型:将原料在注射成型机上以15-18kg/cm2的压力压制出厚度为0.45-0.55mm的毛坯;
(3)脱脂处理:在450-500℃进行脱脂处理;
(4)热压处理:将脱脂后的毛坯置于石墨模具中在15MPa压力下自室温以20℃/min升温速度升温到560-580℃保温烧结2.5-3min,然后以45-60℃/min冷却速度冷却至室温,得到厚度为0.3mm,厚度精度为±0.005mm的金刚石切割片。
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