[发明专利]一种制备金属氧化物正极的方法在审
| 申请号： | 201711371089.2 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108281618A | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 张晓琨;税烺 | 申请（专利权）人： | 成都亦道科技合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H01M4/1391 | 分类号： | H01M4/1391;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 成都帝鹏知识产权代理事务所(普通合伙) 51265 | 代理人： | 黎照西 |
| 地址： | 610213 四川省成都市天府新区天府大道*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备金属氧化物 正极 靶材 溅射 金属氧化物 溅射镀膜 生产效率 正极薄膜 锂电池 薄膜 替换 | ||
1.一种制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：该制备金属氧化物正极的过程是在磁控溅射腔内进行，所述磁控溅射腔具有多个靶材位，所述磁控溅射腔设定有多个通道，多个通道分别对多个靶材位上产生的原子进行引导并通过一汇流口，多种原子在汇流口处进行混合，所述制备金属氧化物正极的方法包括以下步骤：
T1：在多个靶材位上安装多个靶材并提供待镀膜基片，多个靶材包括多个金属靶材或者包括至少一金属靶材和至少一金属氧化物靶材；
T2：对磁控溅射腔进行抽真空；
T3：按预定待镀膜中各原子组分比例设定每个靶材的溅射速度并开始磁控溅射以对汇流口处的待镀膜基片沉积预定原子组分比例的膜。
2.如权利要求1所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：当多个靶材包括多个金属靶材时，所述制备金属氧化物正极的方法在步骤T2～T3之间进一步包括以下步骤：
T21：向磁控溅射腔内注入惰性气体和含氧气体。
3.如权利要求1所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：当多个靶材包括至少一金属靶材和至少一金属氧化物靶材时，所述制备金属氧化物正极的方法在步骤T2～T3之间进一步包括以下步骤：
T22：向磁控溅射腔内注入惰性气体。
4.如权利要求1所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：所述步骤T3包括以下步骤：
T31：移动待镀膜基片经过汇流口处以进行溅射镀膜。
5.如权利要求4所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：在步骤T3中同时设定基片的移动速度。
6.如权利要求5所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：所述基片的移动速度为0.1mm/min～1mm/min。
7.如权利要求1所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：所述制备金属氧化物正极的方法在步骤T3之后进一步包括以下步骤：
T5：由机械手取出溅射镀膜后的基片。
8.如权利要求7所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：所述制备金属氧化物正极的方法在步骤T3和T5之间执行以下步骤：
T4:向磁控溅射腔内注入常压气体或者使磁控溅射腔与外界连通。
9.如权利要求1所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：所述靶材中至少包括锂金属或者锂金属氧化物。
10.如权利要求1所述的制备金属氧化物正极的方法，其特征在于：所述步骤T2中磁控溅射腔的真空度为10-7～10-5Torr。
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