[发明专利]一种合金集流体的高通量筛选方法

权利要求书

1.一种合金集流体的高通量筛选方法，用于快速制备和筛选出所需合金集流体，其特征在于，包括如下步骤：

提供一基片以及至少两种可形成合金的单质元素靶材，该基片上包括多个样品区；

按照预设样品靶材沉积比例，通过磁控溅射镀膜技术，在每个样品区同时制备包括同样种类单质元素的交替沉积的薄膜前驱体，每个样品区中相同层薄膜为同一种单质元素，但元素沉积量不同；

同时热处理多个样品区的多个多层薄膜前驱体，以获得多个合金相样品；

检测样品相关物理化学性质，得到每个样品对应性质数据；

将每个样品区的样品元素比例、制备条件数据与性质数据相关联，以形成样品数据库；

按照预定标准通过数据库进行样品数据筛选。

2.如权利要求1所述一种合金集流体的高通量筛选方法，其特征在于：所述多层薄膜前驱体中单个元素至少沉积一层薄层。

3.如权利要求1所述一种合金集流体的高通量筛选方法，其特征在于：所述多层薄膜前驱体中各层薄膜层沉积厚度为5-20nm，所述多层薄膜前驱体厚度为90-110nm。

4.如权利要求1所述一种合金集流体的高通量筛选方法，其特征在于：所述基片与所述靶材之间还设有掩模版，所述掩膜板上设有大小和位置可调的掩膜孔，用于控制同一元素在不同样品区上沉积不同比例。

5.如权利要求4所述一种合金集流体的高通量筛选方法，其特征在于：制备多层薄膜前驱体时，还可通过控制每个样品区上的磁控溅射功率或磁控溅射时间，使同一元素在不同多层薄膜前驱体上沉积比例不同。

6.如权利要求3所述一种合金集流体的高通量筛选方法，其特征在于：同时对多层薄膜前驱体进行热处理，以获得对应的合金相样品，具体包括：

同时对所述多层薄膜前驱体进行加热固溶处理，以使各薄膜层之间相互扩散，以形成无定型态合金相；

同时退火处理多个无定型态合金相，使其结晶生成多个元素比例不同的合金相样品。

7.如权利要求6所述一种合金集流体的高通量筛选方法，其特征在于：所述多层薄膜前驱体加热固溶时的温度，与所述多层薄膜前驱体中最大厚度单层薄膜层的厚度成正相关。

8.如权利要求1所述一种合金集流体的高通量筛选方法，其特征在于：通过高通量微观表征快速测量各个样品的数据。

9.如权利要求7所述一种合金集流体的高通量筛选方法，其特征在于：所述高通量微观表征包括衰逝微波显微镜单口串行测量电导率，通过纳米压痕仪单口串行测量力学强度和通过激光导热系数测量仪，快速获得样品的热扩散系数数据。

10.如权利要求1-9所述一种合金集流体的高通量筛选方法，其特征在于：所述靶材元素单质包括铜，以及银、铝、镁、铬、碳、硅和磷中的任一种或多种。