[发明专利]一种新型的金属遮罩的支撑平台及检测装置

权利要求书

1.一种新型的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，包括两个气浮板和安装光源的框体，其中，

两个所述气浮板分别与所述框体两条相平行的侧边连接；

所述气浮板远离所述框体的边缘上设有金属遮罩安装件，其中一个所述金属遮罩安装件上设有光电发射器，另一个所述金属遮罩安装件上设有光电接收器，且所述光电发射器与所述光电接收器正对设置，所述光电发射器及所述光电接收器所在的平面与金属遮罩张紧并呈水平状态下的平面持平，在金属遮罩任一局部高于所述光电发射器与所述光电接收器所在的平面时，所述光电发射器与所述光电接收器发出信号；

所述气浮板面向金属遮罩的第一表面上设有多个出气孔，与所述第一表面表面平行的第二表面上设有至少一个进气孔，所述进气孔与各所述出气孔在所述气浮板内部相互连通。

2.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，各所述出气孔上均设有喷气嘴。

3.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板的吹气量可以将金属遮罩吹起30～70um。

4.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板上靠近所述金属遮罩安装件的出气孔的密度为m₁，所述气浮板上靠近所述框体的出气孔的密度为m₂，m₁＜m₂。

5.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板的材质为陶瓷。

6.根据权利要求2所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述喷气嘴包括喷气嘴本体，所述喷气嘴本体的外周壁上设有外螺纹，各所述出气孔内壁上设有与所述喷气嘴本体螺纹连接的内螺纹。

7.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述多个出气孔设置为可闭合式气孔，所述气浮板内壁旋转固定有与气浮板开孔位置相同的调节板，旋转调节板实现多个出气孔的全开、半开及全闭。

8.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述安装件滑动设置于所述气浮板上，以形成不同大小的承载面。

9.根据权利要求1所述的金属遮罩的支撑平台，其特征在于，所述气浮板与所述框体连接的侧边沿该侧边延伸方向设有燕尾槽，所述框体两侧设有与所述燕尾槽配合的卡持块。

10.一种金属遮罩的检测装置，其特征在于，包含如权利要求1-9任意一项所述的金属遮罩的支撑平台以及检测单元，所述检测单元设置于所述支撑平台上方，用以检查金属遮罩是否存在瑕疵。