[发明专利]超精密切割极细铜线的制备方法在审

专利信息
申请号: 201711374245.0 申请日: 2017-12-19
公开(公告)号: CN107971591A 公开(公告)日: 2018-05-01
发明(设计)人: 郑芳;陈嘉骐 申请(专利权)人: 宁波康强微电子技术有限公司
主分类号: B23H7/22 分类号: B23H7/22
代理公司: 杭州斯可睿专利事务所有限公司33241 代理人: 毛翔威
地址: 315105 浙江省宁波市鄞州区鄞州投资*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 精密 切割 铜线 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种超精密切割极细铜线的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤一、选择铜合金丝材为基体材料,经过除油、清洗后,利用电镀技术在铜合金丝材表面沉积金属锌镀层,通过调整电镀电流、电压及时间获得镀层厚度为5μm~20μm的电镀合金丝材;

步骤二、选择上述电镀合金丝材为初始材料,采用辐射加热或者电阻加热来获得具有金属镀层、铜合金基体层与互扩散层三层结构的丝材坯料;

步骤三、选择上述热处理的三层结构的丝材坯料,以600m/min~1500m/min的拉拔速度将上述丝材拉拔为0.07mm的超精密切割极细铜线,随后以电压为20~50V、电流为5~30A进行退火处理,最终获得超精密切割极细铜线。

2.根据权利要求1所述的超精密切割极细铜线的制备方法,其特征在于:所述步骤二中的辐射加热是通过外置加热设备以热传导方式来加热丝材。

3.根据权利要求2所述的超精密切割极细铜线的制备方法,其特征在于:所述步骤二中的外置加热设备为电阻炉,将电镀合金丝材以0.02m/s~0.2m/s的速度通过温度为650℃~800℃、长度为1m的电阻炉。

4.根据权利要求1所述的超精密切割极细铜线的制备方法,其特征在于:所述步骤二中的电阻加热是通过铜合金丝材自身电阻发热方式来加热丝材。

5.根据权利要求4所述的超精密切割极细铜线的制备方法,其特征在于:所述步骤二中的电阻加热是基于自身电阻发热方式加热,通过在固定长度线材搭接触头接通电路,从而实现自身发热,选择加热功率为0.5KW~2KW。

6.根据权利要求1所述的超精密切割极细铜线的制备方法,其特征在于:所述步骤一中的电镀电流为1400A,电压为12V,时间为100m/min。

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