[发明专利]太阳能电池共蒸镀生产线

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种太阳能电池共蒸镀生产线。

背景技术

铜铟镓硒(CIGS)薄膜技术制备工艺包括：基板清洗，磁控溅射钼层，激光划刻，CIGS共蒸镀，化学水浴沉积，机械划刻以及磁控溅射TCO层。其中，CIGS共蒸镀工艺和化学水浴沉积工艺一般分别通过共蒸镀设备及化学水浴设备来实现。而在现有技术中，由于硅基薄膜太阳能电池生产线没有共蒸镀设备、化学水浴设备以及将基板传输到此两种工艺设备位置处的周转线，因此，硅基薄膜太阳能电池生产线无法满足对CIGS薄膜太阳能电池的生产要求，使对硅基薄膜太阳能电池和CIGS薄膜电池的生产需要通过两条不同的生产线，极大地增加了生产成本。

此外，由于共蒸镀工艺要求TCO层的镀膜面朝向地面方向，但在共蒸镀的上道工序上，TCO层的镀膜面朝向背离地面的方向，而硅基薄膜太阳能电池生产线没有对基板进行翻片的结构，因此对基板的翻片一般通过手动操作，由此降低了生产效率，提高了人工成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种太阳能电池共蒸镀生产线，以解决上述现有技术中的问题，实现在同一条周转线上生产硅基薄膜电池及CIGS薄膜电池，提高生产效率，降低生产成本。

本发明提供了一种太阳能电池共蒸镀生产线，其中，包括：

底托周转线，所述底托周转线上设置有底托上线口和底托下线口；

基板周转线，所述基板周转线与共蒸镀设备相连，所述基板周转线上设置有上料口和下料口，所述上料口和所述下料口均与所述底托周转线相连；

主控室，用于控制所述底托周转线和所述基板周转线动作。

如上所述的太阳能电池共蒸镀生产线，其中，优选的是，还包括与所述底托周转线相连的基板上线装置和基板下线装置，所述基板上线装置用于向底托上输送基板，所述基板下线装置用于取走所述底托上的基板。

如上所述的太阳能电池共蒸镀生产线，其中，优选的是，还包括底托上线装置和底托下线装置，所述底托上线装置与所述底托上线口相连，用于向所述底托周转线上输送底托，所述底托下线装置与所述底托下线口相连，用于从所述底托周转线上回收所述底托。

如上所述的太阳能电池共蒸镀生产线，其中，优选的是，所述底托上线装置与所述底托下线装置相连。

如上所述的太阳能电池共蒸镀生产线，其中，优选的是，所述基板上线装置和基板下线装置上均设置有驱动机构、翻转机构和夹持机构，所述驱动机构的输出端与所述翻转机构的一端相连，用于驱动所述翻转机构转动，所述翻转机构与所述夹持机构相连。

如上所述的太阳能电池共蒸镀生产线，其中，优选的是，所述夹持机构为真空吸盘，所述翻转机构上设置有真空泵，所述真空泵与所述真空吸盘相连。

如上所述的太阳能电池共蒸镀生产线，其中，优选的是，还包括位置检测装置，所述位置检测装置分别设置在所述基板上线装置和基板下线装置上。

如上所述的太阳能电池共蒸镀生产线，其中，优选的是，所述底托包括相互垂直的纵梁和横梁，所述纵梁和所述横梁之间构成两个以上用于放置基板的共蒸镀区域。

如上所述的太阳能电池共蒸镀生产线，其中，优选的是，所述基板周转线包括基板上料线和基板下料线，所述基板上料线与所述共蒸镀设备的输入端相连，所述基板下料线与所述共蒸镀设备的输出端相连；所述上料口设置在所述基板上料线上，所述下料口设置在所述基板下料线上。

如上所述的太阳能电池共蒸镀生产线，其中，优选的是，所述基板上料线上设置有多个输入线，每个所述输入线均与一个所述共蒸镀设备的输入端相连，所述基板下料线上设置有多个输出线，每个所述输出线均与一个所述共蒸镀设备的输出端相连。

本发明提供的太阳能电池共蒸镀生产线，通过设置底托周转线和基板周转线，实现了对CIGS薄膜电池在共蒸镀工序的自动化周转和加工，同时实现了底托的自动循环流转，节省了人力，提高了生产效率，节约了生产成本。

附图说明

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。

图1为本发明实施例提供的太阳能电池共蒸镀生产线的结构示意图；

图2为翻转机构的结构示意图；

图3为底托的结构示意图；

图4为基板放置在底托上的状态图。

附图标记说明：

100-底托周转线200-基板周转线210-基板上料线

211-上料口212-输入线220-基板下料线