[发明专利]一种高可靠的研磨机关停控制装置及其方法有效

专利信息
申请号: 201711377317.7 申请日: 2017-12-19
公开(公告)号: CN107877355B 公开(公告)日: 2023-08-11
发明(设计)人: 郭彬;潘凌锋;陈一信;陈浙泊 申请(专利权)人: 浙江大学台州研究院
主分类号: B24B37/013 分类号: B24B37/013;B24B37/005;B24B49/10
代理公司: 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 代理人: 董世博
地址: 318001 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 可靠 研磨机 关停 控制 装置 及其 方法
【说明书】:

发明公开了一种高可靠的研磨机关停控制装置,包括测频系统研磨机控制电路模块、连接口、两个串联的研磨机关停控制器、研磨机;所述测频系统控制电路模块与两个串联的研磨机关停控制器通过连接口连接,所述研磨机与两个串联的研磨机关停控制器通过电性连接;所述研磨机关停控制器为固态继电器或光电耦合器;所述测频系统控制电路模块包括研磨机控制输出自检模块、研磨机控制自检模块和关停研磨机控制模块;本发明提供了一种可靠性高、结构简单合理、制作方便、基于双路控制和带自检功能的适用于石英晶片研磨在线测频系统关停研磨机的控制装置及其方法。

技术领域

本发明涉及控制装置领域,更具体地说,它涉及一种高可靠的研磨机关停控制装置及其方法。

背景技术

石英晶片的频率研磨是石英晶振生产过程中的重要工序,晶片通过研磨机进行切削减薄。目前,市场上商用的在线测频系统(如美国TRANSAT公司ALC在线频率监控仪)通过动态测量晶片的谐振频率从而实时监控晶片的厚度,当晶片厚度达到预设值时在线频率测量系统发送关停信号使研磨机停机。

目前,工厂中在线测频系统通过一个光电耦合器或一个固态继电器来控制研磨机的关停,当在研磨石英晶片过程中光电耦合器或固态继电器发生故障,当前的测频系统无法检测到器件发生故障,这样就极有可能造成整盘晶片的超频事故;同时当研磨机关停控制线未连接或者接触不良时,当前的测频系统同样无法检测到控制线未连接或者接触不良的问题,同样这极有可能造成对整盘晶片的超频事故。

对于磁钢片、陶瓷片和蓝宝石等涉及厚度切削的其他研磨机测控系统,也存在相同的风险隐患。随着当前精密加工领域对生产效率、合格率和自动化程度要求不断提高,急需一种高可靠的研磨机关停控制装置及其方法。

发明内容

本发明克服了现有技术的不足,提供了一种可靠性高、结构简单合理、制作方便、基于双路控制和带自检功能的适用于石英晶片研磨在线测频系统关停研磨机的控制装置及其方法。

为了解决上述技术问题,本发明的技术方案如下:

一种高可靠的研磨机关停控制装置,包括测频系统研磨机控制电路模块、连接口、两个串联的研磨机关停控制器、研磨机;所述测频系统控制电路模块与两个串联的研磨机关停控制器通过连接口连接,所述研磨机与两个串联的研磨机关停控制器通过电性连接;所述研磨机关停控制器为固态继电器或光电耦合器;所述测频系统控制电路模块包括研磨机控制输出自检模块、研磨机控制自检模块和关停研磨机控制模块;所述关停研磨机控制模块与研磨机控制自检模块通过三极管进行控制通讯,所述控制通讯为,关停研磨机控制模块导通工作后在IO口输出低电平,使IO口控制的光耦导通,使得三极管的B极生成一个低压电值,从而导通三极管,使得研磨机控制自检模块的IO口的输入电平由高电平转为低电平,从而判断控制电路的状况;所述研磨机控制输出自检模块与研磨机控制自检模块之间设置串联的标识灯和第一限流电阻,所述标识灯为并联的LED灯和外接的指示灯,用以显示电路的状况。

进一步的,所述连接口采用DB9即串口引脚。

进一步的,所述一个串联的研磨机关停控制器与连接口的1和9引脚连接,作为输出口;另一个串联的研磨机关停控制器与连接口的2和8引脚连接,作为输出口。

进一步的,所述研磨机控制输出自检模块和关停研磨机控制模块设置有下拉电阻,用以把不确定的信号钳位在低电平,保持驱动能力与功耗的平衡。

进一步的,所述下拉电阻采用10K欧姆。

进一步的,所述自检控制装置的输出电流控制在10至12mA。

一种高可靠的研磨机关停控制装置的方法,包括开机自检检测步骤、研磨工作步骤、研磨机控制回路功能的检测步骤和在线测频步骤;

开机自检检测步骤具体步骤如下:

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