[发明专利]超声波器件以及超声波装置

权利要求书

1.一种超声波器件，其特征在于，

振动部、第一电极、压电体和第二电极沿所述振动部、所述第一电极、所述压电体和所述第二电极这一顺序的层叠方向层叠，

从所述层叠方向的俯视观察下，所述第一电极的外周缘比所述压电体的外周缘大，

所述压电体具备：能动部，设置于所述振动部内；以及引出部，与所述能动部连接，并跨所述振动部的内外而设置，

所述引出部的宽度尺寸比所述能动部的宽度尺寸小，

所述第二电极设置于所述能动部及所述引出部上。

2.根据权利要求1所述的超声波器件，其特征在于，

所述引出部具备与所述能动部连接的连接部，

在所述俯视观察下，所述连接部随着朝向所述能动部而宽度尺寸变大。

3.根据权利要求1或2所述的超声波器件，其特征在于，

在所述俯视观察下，所述第一电极设置为覆盖所述振动部。

4.根据权利要求1或2所述的超声波器件，其特征在于，

所述压电体的所述能动部及所述引出部的与所述第一电极相反一侧的面为同一平面。

5.根据权利要求1或2所述的超声波器件，其特征在于，

所述超声波器件具备：基板，具有多个开口部；以及支承膜，封闭所述开口部，

所述支承膜由所述振动部和所述振动部以外的支承部构成，所述振动部包括在所述俯视观察下与所述多个开口部重叠的位置处的所述支承膜，

在多个所述振动部的每一个振动部设置有所述第二电极以及具有所述能动部和所述引出部的所述压电体，

所述引出部分别在所述支承部处彼此连接，并与设置于所述引出部上的所述第二电极电连接。

6.根据权利要求5所述的超声波器件，其特征在于，

所述第一电极在设置有多个所述开口部的阵列区域内，设置于在所述支承部上所述引出部及所述第二电极所延伸设置的第一区域以外的区域，

所述引出部及所述第二电极以遍及所述第一区域上的方式而设置，并在所述第一区域内彼此连接。

7.根据权利要求6所述的超声波器件，其特征在于，

在所述第一区域内设置有独立于所述第一电极的第三电极，

所述引出部形成于所述第三电极上。

8.一种超声波装置，其特征在于，具备：

权利要求1至7中任一项所述的超声波器件；以及

控制部，控制所述超声波器件。