[发明专利]基于分束窗结构的微小型分束器

权利要求书

1.基于分束窗结构的微小型分束器，其特征是，包括栅网分束器和栅条分束器，所述栅网分束器和栅条分束器均由栅棱、分束窗和分束膜组成，所述栅棱对分束器进行空间分割形成分束窗阵列，分束膜位于分束窗上表面或分束窗和栅棱的上表面，栅棱对分束膜起支撑作用；

所述栅网分束器中的栅棱宽度范围为1nm-100cm，分束窗宽度范围为1nm-100cm；栅棱厚度范围为1nm-100cm，分束窗厚度范围为1nm-100cm；

所述栅网分束器中的栅棱的剖面结构为单面矩形、单面平行四边形、单面梯形、双面矩形、双面平行四边形或双面梯形。

2.根据权利要求1所述的基于分束窗结构的微小型分束器，其特征在于，栅条分束器中，栅棱的宽度范围为1nm-100cm，分束窗宽度范围为1nm-100cm；栅棱厚度范围为1nm-100cm，分束窗厚度范围为1nm-100cm。

3.根据权利要求1所述的基于分束窗结构的微小型分束器，其特征在于，栅网分束器中的栅棱在横向的宽度是其纵向宽度的倍，分束窗在横向的宽度是其纵向宽度的倍，分束窗在横向和纵向的占空比相同。

4.根据权利要求1所述的基于分束窗结构的微小型分束器，其特征在于，所述栅棱与分束窗的材料相同或不同。

5.根据权利要求1所述的基于分束窗结构的微小型分束器，其特征在于，栅网分束器和栅条分束器中，水平方向的栅棱与垂直方向的栅棱的结构相同或不同。

6.根据权利要求1所述的基于分束窗结构的微小型分束器，其特征在于，栅网分束器或栅条分束器中的栅棱宽度为1μm-10μm时，分束窗的宽度为100μm-2000μm；栅棱厚度为100μm-500μm时，分束窗的厚度为10μm-100μm。

7.根据权利要求1所述的基于分束窗结构的微小型分束器，其特征在于，栅网分束器或栅条分束器中的栅棱宽度为0.5μm-2μm时，分束窗的宽度为50μm-250μm；栅棱厚度为20μm-50μm时，分束窗的厚度为100nm-10μm。

8.根据权利要求1所述的基于分束窗结构的微小型分束器，其特征在于，栅网分束器或栅条分束器中的栅棱宽度为50μm-1000μm时，分束窗的宽度为1000μm-10000μm；栅棱厚度为500μm-3000μm时，分束窗的厚度为200μm-1000μm。

9.根据权利要求1所述的基于分束窗结构的微小型分束器，其特征在于，栅网分束器中的栅棱材料为金属、非金属无机材料或有机材料，分束窗材料为非金属无机材料或有机材料。

10.根据权利要求1所述的基于分束窗结构的微小型分束器，其特征在于，栅条分束器中的栅棱材料为金属、非金属无机材料或有机材料，分束窗材料为非金属无机材料或有机材料。