[发明专利]一种光纤电磁传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种光纤电磁传感器，包括光纤、光纤器件、套筒和弹性悬膜，其特征在于：所述光纤连接在所述光纤器件上，所述光纤器件设置在所述套筒上，所述弹性悬膜设置在所述套筒的端面上，所述弹性悬膜上附有电磁颗粒，电磁场对所述电磁颗粒产生作用力以引发所述弹性悬膜发生形变，所述光纤器件射出的出射光束经发生形变之后的弹性悬膜反射回所述光纤器件上；其中，

所述电磁颗粒设置在所述弹性悬膜的外表面或内表面。

2.根据权利要求1所述的一种光纤电磁传感器，其特征在于：所述电磁颗粒的尺寸在10nm至10mm之间，所述电磁颗粒之间的间距在10nm至10mm之间。

3.根据权利要求1或2所述的一种光纤电磁传感器，其特征在于：所述电磁颗粒的形状是球形、柱形、椭球形或锥形。

4.根据权利要求1所述的一种光纤电磁传感器，其特征在于：所述光纤器件为微结构光纤、拉锥光纤、光纤准直器或光学透镜。

5.根据权利要求1所述的一种光纤电磁传感器，其特征在于：所述弹性悬膜的形状为圆形、三角形、矩形或多边形；所述弹性悬膜的材质为金属、玻璃、半导体或石英。

6.根据权利要求5所述的一种光纤电磁传感器，其特征在于：所述弹性悬膜上镀有金属薄膜或光学介质膜。

7.一种光纤电磁传感器的制备方法，其特征在于：包括如下几个步骤：

(1)制作弹性悬膜，并在弹性悬膜上附有电磁颗粒；

(2)将带有电磁颗粒的弹性悬膜粘贴在套筒的端面上；

(3)将光纤器件固定在套筒的内壁上，并使得光纤器件射出的出射光束入射到所述弹性悬膜上，所述弹性悬膜将光纤器件射出的出射光束反射回所述光纤器件；

其中，所述电磁颗粒设置在所述弹性悬膜的外表面或内表面。

8.根据权利要求7所述的一种光纤电磁传感器的制备方法，其特征在于：在步骤(1)中，在弹性悬膜的外表面粘贴一层磁性小柱体，所述磁性小柱体作为所述电磁颗粒。

9.根据权利要求7所述的一种光纤电磁传感器的制备方法，其特征在于：在步骤(1)中，在弹性悬膜的内表面粘贴一层带电小球，所述带电小球作为所述电磁颗粒。