[发明专利]一种面板检测装置

权利要求书

1.一种面板检测装置，包括支架(1)，其特征在于：所述的支架(1)上设置有，

水箱(2)，用于存储制造的液态水；

蒸汽发生装置(3)，与所述水箱(2)连通，用于加热液态水将其制备为高温水蒸气；

喷管(4)，与所述蒸汽发生装置(3)连通，用于将水蒸气引导至待清洗的面板上；

所述的蒸汽发生装置(3)和喷管(4)之间设置有至少一个用于对进入到所述喷管(4)内的水蒸气加热使水蒸气中冷凝的液滴再次汽化的二次加热装置。

2.如权利要求1所述的一种面板检测装置，其特征在于：所述的二次加热装置包括固定在支架(1)上的密封腔体(5)以及位于所述密封腔体(5)内的热源；所述的密封腔体(5)分别与蒸汽发生装置(3)和喷管(4)连通。

3.如权利要求2所述的一种面板检测装置，其特征在于：所述的蒸汽发生器装置(3)通过第一连通管(6)与所述密封腔体(5)连通；所述的第一连通管(6)与所述密封腔体(5)连通接口位于密封腔体(5)的中间位置。

4.如权利要求2所述的一种面板检测装置，其特征在于：所述的喷管(4)通过第二连通管(7)与所述密封腔体(5)连通；所述的第二连通管(7)与所述密封腔体(5)连通接口位于密封腔体(5)的顶部。

5.如权利要求2所述的一种面板检测装置，其特征在于：还包括用于回收密封腔体(5)内液态水的第三连通管(8)；所述的第三连通管(8)一端与密封腔体(5)底部连通，另一端与水箱(2)连通；所述密封腔体(5)底部不低于水箱(2)顶部。

6.如权利要求5所述的一种面板检测装置，其特征在于：所述第三连通管(8)与水箱(2)连通接口位于水箱(2)底部。

7.如权利要求4所述的一种面板检测装置，其特征在于：所述喷管(4)为轴向两端封闭的管状结构，喷管(4)管体上布置有多个喷嘴(9)，多个喷嘴(9)沿喷管(4)轴线间隔布置于喷管(4)的圆周外壁上。

8.如权利要求7所述的一种面板检测装置，其特征在于：所述第二连通管(7)与喷管(4)连通接口位于喷管(4)的轴向中间位置。

9.如权利要求7所述的一种面板检测装置，其特征在于：所述第二连通管(7)与喷管(4)的连通接口与喷嘴(9)沿喷管(4)的圆周方向间隔180°。

10.如权利要求7所述的一种面板检测装置，其特征在于：所述的热源为设置于密封腔体(5)内的干烧管、电热丝、加热棒中的一种或是几种的组合。