[发明专利]一种用于负压测量的MEMS充油压力传感器

权利要求书

1.一种用于负压测量的MEMS充油压力传感器，包括基座，所述基座上设有容纳硅油的空腔，所述基座的上侧设有用于感应外界压力的金属膜片，所述基座与所述金属膜片之间形成密封空腔，其特征在于，所述基座与所述金属膜片对应的底板上设有通孔，所述底板的下表面固定有压力芯片，所述压力芯片的通气孔与所述通孔相通，所述压力芯片通过密封胶粘接固定在所述底板上，所述空腔、所述通孔和所述通气孔内填充有硅油。

2.根据权利要求1所述的用于负压测量的MEMS充油压力传感器，其特征在于：所述底板呈圆形且所述通孔位于所述底板的中心。

3.根据权利要求1所述的用于负压测量的MEMS充油压力传感器，其特征在于：所述底板的下表面还固定有与所述压力芯片相连的电路板，所述电路板上还设有用于避让所述压力芯片的第一避让孔，所述第一避让孔的直径大于所述压力芯片的直径。

4.根据权利要求3所述的用于负压测量的MEMS充油压力传感器，其特征在于：所述底板上还设有充油孔，所述充油孔通过钢球密封，所述电路板上还设有用于避让所述钢球的第二避让孔，所述第二避让孔的直径大于所述钢球的直径。

5.根据权利要求3所述的用于负压测量的MEMS充油压力传感器，其特征在于，所述电路板上还设有用于信号输出的引线，所述压力芯片通过邦定线与所述电路板相连。

6.根据权利要求3所述的用于负压测量的MEMS充油压力传感器，其特征在于：所述电路板的下表面还固定有保护帽，所述压力芯片位于所述保护帽内。

7.根据权利要求1所述的用于负压测量的MEMS充油压力传感器，其特征在于：所述密封胶为软胶。

8.根据权利要求1所述的用于负压测量的MEMS充油压力传感器，其特征在于：所述金属膜片通过焊环焊接固定在所述基座上。

9.根据权利要求7所述的用于负压测量的MEMS充油压力传感器，其特征在于：所述焊环的高度大于所述基座的高度，所述焊环上设有密封槽，所述密封槽内安装有密封圈。

10.根据权利要求1所述的用于负压测量的MEMS充油压力传感器，其特征在于：所述基座是不锈钢基座。