[发明专利]一种具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关

权利要求书

1.一种具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关，其特征在于：它包括衬底、分段式双层膜电热驱动单元、基座和电接触单元，所述分段式双层膜电热驱动单元、基座和电接触单元均位于衬底上，所述分段式双层膜电热驱动单元固定设在基座上，基座于衬底固定连接，所述电接触单元设置在分段式双层膜电热驱动单元上方；所述电接触单元包括静接触点、V型支撑梁、柔性弹簧和弧形电接触质量块，所述V型支撑梁固定在分段式双层膜电热驱动单元上方，弧形电接触质量块通过柔性弹簧连接在V型支撑梁上，所述静接触点设置在弧形电接触质量块上方，静接触点与弧形电接触质量块相配合，所述静接触点与外界电路连接。

2.如权利要求1所述的具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关，其特征在于：所述分段式双层膜电热驱动单元具有复合弓型的结构。

3.如权利要求1所述的具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关，其特征在于：所述分段式双层膜电热驱动单元是由两段相反形状的双层膜构成，所述双层膜为热膨胀率不同的膜。

4.如权利要求1所述的具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关，其特征在于：所述基座的两侧设置有电极，所述电极与驱动电路连接。

5.如权利要求1所述的具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关，其特征在于：所述V型 支撑梁的材料为硅或二氧化硅。

6.如权利要求1所述的具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关，其特征在于：所述柔性弹簧为蛇形结构的弹簧。

7.如权利要求1所述的具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关，其特征在于：所述弧形电接触质量块是具有弧形结构的金属单元，两边与柔性弹簧相连接。

8.如权利要求1所述的具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关，其特征在于：所述静接触点具有弧形结构，弧形结构的曲率半径与弧形电接触质量块相等并与其保持接通或者断开。

9.如权利要求1所述的具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关，其特征在于：所述衬底材料为硅或陶瓷。