[发明专利]一种模板电液束加工金属表面微结构的装置及方法在审
| 申请号： | 201711385329.4 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108115233A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 吴明;郭钟宁;何俊峰;陈晓磊 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00;B23H9/00 |
| 代理公司： | 广州胜沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人： | 孙文卉 |
| 地址： | 510006 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电液 喷嘴 绝缘模板 电解液 电解液输送管道 加工金属表面 电源阳极 微结构 电源 压力控制系统 阴极 半导体技术 材料去除率 电解液射流 电源阴极 工件连接 光刻工艺 光刻技术 过滤系统 连接电源 一端连接 一端设置 工件仓 压力泵 载物台 去除 加工 | ||
1.一种模板电液束加工金属表面微结构的装置，其特征在于，包括：
工件仓；
设置于所述工件仓内底部的电解液；
安装在工件仓内的载物台，所述载物台与工件仓底部通过支架连接；
安装在载物台上的工件，所述工件上设置有绝缘模板；
设置于工件上方的电液束喷嘴；
连接在所述电液束喷嘴上的电解液输送管道，所述电解液输送管道另一端连接电解液；
电源，所述电源包括电源阳极和电源阴极，所述电源阳极连接工件，所述电源阴极连接电液束喷嘴。
2.如权利要求1所述的模板电液束加工金属表面微结构的装置，其特征在于：所述电解液输送管道连接电解液处安装有过滤系统。
3.如权利要求1所述的模板电液束加工金属表面微结构的装置，其特征在于：所述电解液输送管道上设置有压力泵。
4.如权利要求1所述的模板电液束加工金属表面微结构的装置，其特征在于：所述电解液输送管道上设置有电解液射流压力控制系统，所述电解液射流压力控制系统设置于电液束喷嘴和压力泵之间。
5.一种模板电液束加工金属表面微结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，在工件上通过光刻技术以及半导体技术制备绝缘模板；
步骤二，电液束喷嘴连接电源阴极，工件连接电源阳极；
步骤三，电解液经电解液输送管道运输到电液束喷嘴射向工件；
步骤四，按规划路径移动载物台，使电液束喷嘴对工件表面各区域进行均匀加工。
6.如权利要求5所述的模板电液束加工金属表面微结构的方法，其特征在于：所述步骤一的光刻技术以及半导体技术可制得毫米级到亚微米级的绝缘模板。
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