[发明专利]一种硅膜电涡流微压传感器

说明书

本发明公开了一种硅膜电涡流微压传感器，包括安装座、薄膜片和压盖，所述安装座上设置有引压孔，所述压盖上设置有安装槽，所述压盖紧固在所述安装座上且安装槽正对引压孔，所述薄膜片安装于所述安装槽内且其周侧通过压盖与安装座进行夹持固定，所述压盖正对薄膜片的位置设置有激励线圈，所述激励线圈与薄膜片之间设置有测量线圈。本发明的硅膜电涡流微压传感器具有结构简单、测量精准可靠等优点。

技术领域

本发明主要涉及压力测量技术领域，特指一种硅膜电涡流微压传感器。

背景技术

目前的电涡流微压传感器中，敏感膜片采用金属波纹膜片，当差压作用在金属波纹膜片上时，膜片中心会上下移动，与电涡流激励线圈距离发生变化，距离变化最终被转换为电信号的变化。该方法利用的是金属波纹膜片作为敏感元件，但是金属波纹膜片的厚度不容易控制，易产生残余应力和安装应力，且存在弹性滞后的缺陷，影响长期稳定性和测量精度，校准周期短。另外还有采用硅压阻效应的微压传感器是利用硅的弹性模量和压阻效应测量压力，此类传感器的灵敏度较低，膜片厚度也难以控制。

发明内容

本发明要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本发明提供一种结构简单、测量可靠且精度高的硅膜电涡流微压传感器。

为解决上述技术问题，本发明提出的技术方案为：

一种硅膜电涡流微压传感器，包括安装座、薄膜片和压盖，所述安装座上设置有引压孔，所述压盖上设置有安装槽，所述压盖紧固在所述安装座上且安装槽正对引压孔，所述薄膜片安装于所述安装槽内且其周侧通过压盖与安装座进行夹持固定，所述压盖正对薄膜片的位置设置有激励线圈，所述激励线圈与薄膜片之间设置有测量线圈。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述薄膜片包括硅衬底和非导电膜片，所述非导电膜片静电键合在所述硅衬底上，所述硅衬底上设有窗口，所述非导电膜片的外侧且正对窗口的位置处溅射有导电薄膜，所述导电薄膜正对于所述测量线圈。

所述薄膜片中非导电膜片与压盖接触的部分设置有导电接触环。

所述导电接触环上设置有焊盘，所述焊盘上设置有引线，所述压盖上设置有线孔，所述引线经压盖上线孔穿出，用于检测压盖与导电接触环之间的接触电阻以调整压盖与安装座之间的紧固力。

所述非导电膜片为SiO₂片。

所述导电薄膜为Au层。

所述安装座与薄膜片周侧接触的位置设置有密封槽，所述密封槽内设置有密封件。

所述密封件为O型密封圈。

所述安装座与压盖之间设有橡胶平垫片。

所述安装座与压盖之间通过螺栓紧固。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明的硅膜电涡流微压传感器，通过压盖与安装座之间的夹持配合对薄膜片的周侧进行固定，保证薄膜片正对测量线圈部分不受到其它外力影响，从而提高测量的精准性。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明中薄膜片的剖视图。

图3为本发明中薄膜片的俯视图。

图中标号表示：1、安装座；2、螺栓；3、密封件；4、平垫片；5、压盖；6、激励线圈；7、线圈引线；8、测量线圈；9、引线；10、薄膜片；11、导电接触环；12、非导电膜片；13、硅衬底；14、导电薄膜；15、焊盘；16、引压孔；17、安装槽。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步描述。