[发明专利]研磨垫使用寿命的监测方法及监测设备

权利要求书

1.一种研磨垫使用寿命的监测方法，其特征在于，通过感测垫片调整器相对于研磨垫以特定速度在研磨运动过程中的电流变化，反应垫片调整器相对于研磨垫的摩擦力变化，以表示研磨垫的表面粗糙度状态的变化，来确定研磨垫是否达到使用寿命的步骤；当垫片调整器相对于研磨垫以特定速度在研磨运动过程中的电流变化达到某一特定的电流值时，判断研磨垫达到了使用寿命期限，否则判断未达到使用寿命期限。

2.如权利要求1所述的研磨垫使用寿命的监测方法，其特征在于，包括设定特定的电流值的步骤；根据晶圆马拉松测试的结果以及垫片调整器以特定速度运动过程中的电流的变化，将研磨垫的使用寿命设定为一个特定的电流值。

3.如权利要求1所述的研磨垫使用寿命的监测方法，其特征在于，当垫片调整器相对于研磨垫的摩擦力变化与垫片调整器相对于研磨垫以特定速度在研磨运动过程中的电流变化成正比例关系时，当摩擦力减小时，表示研磨垫的表面粗糙度状态为减小，当感测垫片调整器相对于研磨垫以特定速度在研磨运动过程中的电流变化降低到某一特定的电流值时，判断研磨垫达到了使用寿命期限，否则判断未达到使用寿命期限。

4.如权利要求1所述的研磨垫使用寿命的监测方法，其特征在于，当垫片调整器相对于研磨垫的摩擦力变化与垫片调整器相对于研磨垫以特定速度在研磨运动过程中的电流变化成反比例关系时，当摩擦力减小时，表示研磨垫的表面粗糙度状态为减小，当感测垫片调整器相对于研磨垫以特定速度在研磨运动过程中的电流变化提高到某一特定的电流值时，判断研磨垫达到了使用寿命期限，否则判断未达到使用寿命期限。

5.如权利要求1所述的研磨垫使用寿命的监测方法，其特征在于，包括设置电流传感器的步骤，以感测垫片调整器相对于研磨垫以特定速度在研磨运动过程中的电流变化。

6.如权利要求5所述的研磨垫使用寿命的监测方法，其特征在于，包括将电流传感器设置在垫片调整器的步骤。

7.如权利要求1所述的研磨垫使用寿命的监测方法，其特征在于，还包括设置控制器的步骤，用于记录电流值及判断电流值是否达到某一特定的电流值；以及设置显示设备的步骤，用于实时显示电流值。

8.一种研磨垫使用寿命的监测设备，其特征在于，包括转轴、研磨台、研磨垫、研磨头、研磨液输送管、垫片调整器，其特征在于，还包括电流传感器，用于感测垫片调整器相对于研磨垫运动过程中的电流变化值。

9.如权利要求8所述的研磨垫使用寿命的监测设备，其特征在于，所述电流传感器设置于垫片调整器上。

10.如权利要求8所述的研磨垫使用寿命的监测设备，其特征在于，还包括用于记录电流值及判断电流值是否达到某一特定的电流值的控制器，以及用于实时显示电流值的显示设备。