[发明专利]一种分光器以及采用该分光器的分光方法

权利要求书

1.一种分光器，其包括：

一透光基底，与该透光基底的表面平行且相互垂直的两个方向分别定义为X方向和Y方向；

设置于该透光基底表面的多个周期性的第一微结构单元，所述第一微结构单元包括多个沿X方向平行且间隔设置的第一微纳米柱，所述多个第一微纳米柱的高度相同，且所述多个第一微纳米柱的横截面尺寸梯度变化；以及

设置于该透光基底表面的多个周期性的第二微结构单元，所述第二微结构单元包括多个沿X方向平行且间隔设置的第二微纳米柱，所述多个第二微纳米柱的高度相同，所述多个第二微纳米柱的横截面尺寸梯度变化，且所述多个第一微纳米柱的横截面尺寸梯度与所述多个第二微纳米柱的横截面尺寸梯度相同但梯度相反；

其特征在于，所述多个周期性的第一微结构单元和多个周期性的第二微结构单元在X方向和Y方向的至少一个方向交替设置。

2.如权利要求1所述的分光器，其特征在于，所述多个周期性的第一微结构单元和多个周期性的第二微结构单元仅在Y方向交替设置，且相邻的第一微结构单元和第二微结构单元在Y方向对齐。

3.如权利要求1所述的分光器，其特征在于，所述多个周期性的第一微结构单元和多个周期性的第二微结构单元仅在Y方向交替设置，且相邻的第一微结构单元和第二微结构单元在Y方向错位。

4.如权利要求1所述的分光器，其特征在于，所述多个周期性的第一微结构单元和多个周期性的第二微结构单元在X方向和Y方向均向交替设置。

5.如权利要求1所述的分光器，其特征在于，所述多个第一微纳米柱沿X方向中心对对齐，该多个第二微纳米柱也沿X方向中心对对齐。

6.如权利要求1所述的分光器，其特征在于，所述多个第一微纳米柱沿X方向侧边对齐，该多个第二微纳米柱也沿X方向侧边对齐。

7.如权利要求1所述的分光器，其特征在于，所述多个第一微纳米柱的材料吸收系数与多个第二微纳米柱的材料吸收系数不同。

8.如权利要求1所述的分光器，其特征在于，所述多个第一微纳米柱在X方向的间距为50纳米-500纳米，高度H为300纳米-2000纳米，横截面尺寸为20纳米-1000纳米；所述多个第二微纳米柱在X方向的间距为50纳米-500纳米，高度H为300纳米-2000纳米，横截面尺寸为20纳米-1000纳米，所述横截面尺寸指横截面的最大尺度。

9.一种采用如权利要求1至8中任意一项所述的分光器分光的方法，其包括：将一入射光束从该分光器的一侧入射，从另一侧透射。

10.如权利要求9所述的分光的方法，其特征在于，所述入射光束从该分光器的一侧垂直入射；且进一步包括通过改变所述多个第一微纳米柱与多个第二微纳米柱的材料吸收系数调节分光比。