[发明专利]一种用于硅环腐蚀的装置及方法

权利要求书

1.一种用于硅环腐蚀的装置，其特征在于，该装置包括腐蚀液槽、悬架、载片架、电动机、加热器，其中，悬架具有两个悬臂，该两个悬臂上部分别设有悬臂把手，悬架通过该两个悬臂把手被支撑在腐蚀液槽上；两个悬臂的下部置于腐蚀液槽内，其下端分别具有挂钩；载片架具有三根连杆和两个圆盘，三根连杆的两端分别连接在两个圆盘上，其中一个圆盘连接齿轮，该齿轮通过传动轴连接电动机；三根连杆上设有用于承载硅环的凹槽；载片架的两端可旋转地承载在两个悬臂的挂钩上，加热器安装在腐蚀液槽内用于对腐蚀液加热。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述三根连接杆对称分布在两个圆盘之间。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述三根连接杆通过螺丝与圆盘连接。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，除电动机以外均为PVC材质。

5.一种采用权利要求1所述的装置腐蚀硅环的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)打开加热器，将腐蚀液加热到20-60℃；

(2)将硅环装卡在载片架连杆的凹槽上，并将载片架挂在悬臂上；

(3)将悬臂把手挂在腐蚀液槽上，并使硅环没入腐蚀液中，打开电动机，控制转速在0-60r/min；

(4)通过调整腐蚀时间控制腐蚀去除量；

(5)对硅环进行清洗。