[发明专利]管式PERC双面太阳电池及其制备方法和专用电镀设备

权利要求书

1.一种管式PERC双面太阳电池，其特征在于，包括背银主栅、背铝栅线、背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正电极；所述背面复合膜、P型硅、N型发射极、正面钝化膜和正电极从下至上依次层叠连接；

所述背面复合膜包括三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜中的一种或多种，且采用管式PECVD设备在硅片背面沉积而成；

所述背面复合膜再经过激光开槽后形成30-500个平行设置的激光开槽区，每个激光开槽区内设置至少1组激光开槽单元，所述背铝栅线通过激光开槽区与P型硅相连，所述背铝栅线与背银主栅垂直连接；

所述正电极采用电镀设备制备而得，所述电镀设备包括电镀槽、LED灯和电源，管式PERC双面太阳电池的正面朝下且与电镀槽的电镀液接触，管式PERC双面太阳电池的背面朝上且不与电镀槽的电镀液接触，所述LED灯照射管式PERC双面太阳电池的背面；

所述电镀槽内设有阳极板和电刷，所述电源的正极与阳极板连接，电源的负极与电刷连接，电刷与管式PERC双面太阳电池背面的背银主栅连接。

2.如权利要求1所述管式PERC双面太阳电池，其特征在于，所述电刷上设有凹槽，所述凹槽包裹所述背银主栅，所述电刷的材质为石墨。

3.如权利要求1所述管式PERC双面太阳电池，其特征在于，所述LED灯产生LED绿光。

4.如权利要求3所述管式PERC双面太阳电池，其特征在于，所述LED灯照射背银主栅、背铝栅线和背面复合膜。

5.一种管式PERC双面太阳电池的正电极的制备方法，其特征在于，包括：

(1)将管式PERC双面太阳电池半成品置于电镀设备中，正面朝下，背面朝上，LED灯照射管式PERC双面太阳电池半成品的背面，并使得电池背面的背银主栅与电镀设备的电刷相连接；

(2)管式PERC双面太阳电池半成品的正面与电镀槽的电镀液接触，形成正电极，而管式PERC双面太阳电池半成品的背面不与电镀槽的电镀液接触。

6.如权利要求5所述管式PERC双面太阳电池的正电极的制备方法，其特征在于，所述电刷上设有凹槽，所述凹槽包裹所述背银主栅，所述电刷的材质为石墨。

7.一种管式PERC双面太阳电池的制备方法，其特征在于，包括：

(1)在硅片正面形成绒面，所述硅片为P型硅；

(2)在硅片正面进行扩散，形成N型发射极；

(3)去除扩散过程形成的磷硅玻璃和周边PN结，并对硅片背面进行抛光；

(4)对硅片进行退火；

(5)采用管式PECVD设备在硅片背面沉积背面复合膜：

(6)在硅片正面沉积钝化膜；

(7)对硅片背面复合膜上进行激光开槽；

(8)对硅片正面钝化膜上进行激光开槽；

(9)在硅片背面印刷背银主栅；

(10)在激光开槽区上印刷铝浆，使之与背银主栅连接；

(11)对背面印刷电极进行烧结，得到管式PERC双面太阳电池半成品；

(12)将管式PERC双面太阳电池半成品置于电镀设备中，正面朝下，背面朝上，LED灯照射管式PERC双面太阳电池半成品的背面，并使得电池背面的背银主栅与电镀设备的电刷相连接，管式PERC双面太阳电池半成品的正面与电镀槽的电镀液接触，形成正电极，而管式PERC双面太阳电池半成品的背面不与电镀槽的电镀液接触；

(13)对硅片进行抗LID退火，制得管式PERC双面太阳电池成品。

8.一种管式PERC双面太阳电池的专用电镀设备，其特征在于，包括水平设置的电镀槽，设于电镀槽上部、并用于承载管式PERC双面太阳电池的承载轴，设于电镀槽上方的LED灯，以及电源；

所述电镀槽内设有阳极板和电刷，所述电源的正极与阳极板连接，电源的负极与电刷连接，电刷与管式PERC双面太阳电池背面的背银主栅连接，所述LED灯照射管式PERC双面太阳电池的背面。