[发明专利]一种激光振动测量系统

权利要求书

1.一种激光振动测量系统，其特征在于，包括：

激光单元(1)；

聚焦成像单元(2)，所述聚焦成像单元(2)与所述激光单元(1)相连接；

调焦单元(3)，所述调焦单元(3)与所述聚焦成像单元(2)相连接；

控制单元(4)，所述控制单元(4)分别与所述聚焦成像单元(2)和所述调焦单元(3)相连接；

所述聚焦成像单元(2)包括：

聚焦子单元(21)，所述聚焦子单元(21)与所述激光单元(1)相连接；

图像传感器(22)，所述图像传感器(22)与所述控制单元(4)相连接，并通过所述聚焦子单元(21)摄取图像；

所述聚焦子单元(21)包括：后透镜(211)、第一反射镜(212)、第一分光镜(213)、前透镜组(214)、第一波片(215)；

所述后透镜(211)、所述第一反射镜(212)、所述第一分光镜(213)、所述前透镜组(214)、所述第一波片(215)依次设置构成第一光路；

所述图像传感器(22)通过所述第一分光镜(213)、所述前透镜组(214)、所述第一波片(215)摄取图像。

2.根据权利要求1所述的激光振动测量系统，其特征在于，所述调焦单元(3)包括：

调焦控制器(31)，所述调焦控制器(31)与所述控制单元(4)相连接；

驱动装置(32)，所述驱动装置(32)分别与所述调焦控制器(31)和所述聚焦成像单元(2)相连接。

3.根据权利要求2所述的激光振动测量系统，其特征在于，所述调焦单元(3)还包括：第一限位开关(33)和第二限位开关(34)；

所述第一限位开关(33)和所述第二限位开关(34)分别与所述调焦控制器(31)相连接；

所述第一限位开关(33)和所述第二限位开关(34)间隔设置，并且所述驱动装置(32)驱动调焦机构(321)在所述第一限位开关(33)和所述第二限位开关(34)之间往复移动。

4.根据权利要求3所述的激光振动测量系统，其特征在于，所述调焦控制器(31)包括：

位移控制器(311)，用于控制所述驱动装置(32)驱动所述调焦机构(321)的位移；

第一A/D转换器(312)，所述第一A/D转换器(312)分别与所述控制单元(4)和所述位移控制器(311)相连接。

5.根据权利要求3所述的激光振动测量系统，其特征在于，所述第一限位开关(33)和所述第二限位开关(34)分别为光电传感器。

6.根据权利要求3所述的激光振动测量系统，其特征在于，所述前透镜组(214)与所述调焦机构(321)相连接；

所述驱动装置(32)驱动所述调焦机构(321)使所述前透镜组(214)在所述第一分光镜(213)和第一波片(215)之间往复移动。

7.根据权利要求6所述的激光振动测量系统，其特征在于，所述第一波片(215)为四分之一波片。

8.根据权利要求7所述的激光振动测量系统，其特征在于，所述后透镜(211)为单透镜。

9.根据权利要求8所述的激光振动测量系统，其特征在于，所述后透镜(211)为非球面单透镜。

10.根据权利要求9所述的激光振动测量系统，其特征在于，所述第一反射镜(212)为直角反射棱镜；

所述第一分光镜(213)为单波长高反射镜。

11.根据权利要求1所述的激光振动测量系统，其特征在于，所述激光单元(1)包括：

激光发生器(10)，

第二光路子单元(11)，所述第二光路子单元(11)分别与所述激光发生器(10)和所述聚焦成像单元(2)相连接；

第三光路子单元(12)，所述第三光路子单元(12)与所述第二光路子单元(11)相连接。