[发明专利]一种脆性材料零件安装装置及其应用

权利要求书

1.一种脆性材料零件安装装置，其特征在于，该装置包含：

脆性材料零件(10)，其具有凹槽(11)，该凹槽(11)上包含：若干卡抵槽(11A)，以及，与所述卡抵槽(11A)连通的连通槽(11B)；该卡抵槽(11A)的上部设有：凸出的抵挡部件(1)；

若干第一连接部件(20)，其设置在所述的卡抵槽(11A)内；所述的第一连接部件(20)包含：基底(21)；所述的基底(21)经所述的连通槽(11B)推至所述的卡抵槽(11A)内；

第二连接部件(30)，其设置在所述的凹槽(11)上，且在该第二连接部件(30)上设有连接件(3)；以及

固定件(40)，其用于连接并固定第一连接部件(20)和第二连接部件(30)；

所述的连接件(3)用于将待连接零件与所述的脆性材料零件(10)连接；

所述的卡抵槽(11A)的侧壁在横向上卡抵所述的第一连接部件(20)的移动；所述的抵挡部件(1)在纵向上卡抵所述的第一连接部件(20)的移动。

2.根据权利要求1所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的卡抵槽(11A)和抵挡部件(1)由所述的凹槽(11)向所述的脆性材料零件(10)内部横向凹进形成；

在所述的卡抵槽(11A)上方，所述的凹槽(11)上部向所述的脆性材料零件(10)内部横向凹进形成支撑部(13)；

所述的第二连接部件(30)两端设置在所述的支撑部(13)上，且与所述的支撑部(13)相适配。

3.根据权利要求2所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的卡抵槽(11A)与卡设在其内的第一连接部件(20)相适配。

4.根据权利要求2所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的卡抵槽(11A)包含：圆弧状结构。

5.根据权利要求4所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的卡抵槽(11A)数目为两个，其分别设置在凹槽(11)的两端。

6.根据权利要求5所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的第一连接部件(20)包含：设置在所述的基底(21)上的凸台(22)；

所述的第二连接部件(30)套设在所述的凸台(22)上。

7.根据权利要求6所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的基底(21)具有对称的圆弧状结构，该圆弧状结构与所述的卡抵槽(11A)的圆弧状结构相适配。

8.根据权利要求7所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的连通槽(11B)连接各卡抵槽(11A)；

所述的基底(21)的长轴的长度与圆弧状结构的卡抵槽(11A)的直径相一致；

在使用状态时，所述的第一连接部件(20)经所述的连通槽(11B)推至所述的卡抵槽(11A)内，转动以使所述的基底(21)卡置在所述的卡抵槽(11A)内，所述的第二连接部件(30)放置在所述的凹槽(11)上，且套置在所述的凸台(22)上，所述的卡抵槽(11A)与所述的基底(21)卡紧，所述的支撑部(13)与所述的第二连接部件(30)卡紧。

9.根据权利要求8所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的第二连接部件(30)的下表面的形状与当所述的第一连接部件(20)放置在所述的卡抵槽(11A)内时所述的凹槽(11)内的空间形状相适配。

10.根据权利要求1-9中任意一项所述的脆性材料零件安装装置，其特征在于，所述的固定件(40)具有外螺纹，所述的第一连接部件(20)具有与所述的外螺纹相适配的内螺纹，所述的连接件(3)具有螺纹孔结构。

11.一种等离子体刻蚀机，其特征在于，该刻蚀机中使用的脆性零件采用如权利要求1-10中任意一项所述的脆性材料零件安装装置。