[发明专利]一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法

权利要求书

1.一种热障涂层用陶瓷靶材的制备方法，所述陶瓷靶材为氧化钇稳定氧化锆陶瓷靶材、Gd₂Zr₂O₇陶瓷靶材，La₂Ce₂O₇陶瓷靶材、La₂O₃+CeO₂+Gd₂O₃陶瓷靶材、La₂O₃+CeO₂+Ta₂O₅陶瓷靶材、La₂O₃+CeO₂+ZrO₂+Y₂O₃陶瓷靶材；其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

(1)将原料机械混合均匀后造粒，得到粉体A；

(2)对粉体A进行高温固相反应，得到粉体B；所述步骤(2)中高温固相反应中，反应温度为900-1600℃，反应时间为8-24h；

(3)对粉体B进行冷等静压、烧结、真空退火、切削加工处理，即得到陶瓷靶材；所述步骤(3)中冷等静压为多段控制冷等静压工艺，采用阶梯式加压和泄压；所述步骤(3)中烧结工艺为多段控温烧结工艺，采用分段升温和分段降温；

所述步骤(3)中冷等静压为多段控制冷等静压工艺，采用阶梯式加压和泄压，升压速率为5-30MPa/min，泄压速率为1-10MPa/min，保压压力为50-250MPa，保压时间10-40min；

所述步骤(3)中烧结工艺为多段控温烧结工艺，采用分段升温和分段降温，其中升温过程采用分段升温：以升温速率50-100℃/h加热至1100-1400℃，保温1-5h；再以升温速率50-150℃/h加热至为1300-1600℃，保温1-5h；降温过程采用分段降温：以降温速率50-100℃/h冷却至1000-1300℃，再以降温速率10-50℃/h冷却至800-1000℃；最后随炉冷却至室温。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中原料机械混合中，氧化钇稳定氧化锆陶瓷靶材中ZrO₂质量比为91％-98％，余量为Y₂O₃；

Gd₂Zr₂O₇陶瓷靶材，按照摩尔比Gd₂O₃:ZrO₂＝1:2混合原料粉末；

La₂Ce₂O₇陶瓷靶材，按照摩尔比La₂O₃:CeO₂＝1:2混合原料粉末；

La₂O₃+CeO₂+Gd₂O₃陶瓷靶材，按照摩尔比La₂O₃:CeO₂:Gd₂O₃＝(0.5-1.5):(1-3):(0-1)混合原料粉末，所述Gd₂O₃含量不为0；

La₂O₃+CeO₂+Ta₂O₅陶瓷靶材，按照摩尔比La₂O₃:CeO₂:Ta₂O₅＝(0.5-1.5):(1-3):(0-1)混合原料粉末，所述Ta₂O₅含量不为0；

La₂O₃+CeO₂+ZrO₂+Y₂O₃陶瓷靶材，按照摩尔比La₂O₃:CeO₂:ZrO₂:Y₂O₃＝(0.5-1.5):(1-3):(0-0.5):(0-0.1)混合原料粉末，所述ZrO₂和Y₂O₃含量均不为0。