[发明专利]一种制作坩埚用金属模具

说明书

本发明公开了一种制作坩埚用金属模具，包括金属模具，所述金属模具包括侧边和底座，且侧边与底座在连接点处为可拆卸式连接，所述侧边两边底部设置有螺纹槽，且底座两边上部设置有螺纹杆，所述螺纹槽与底座可以无缝连接在一起，所述金属模具侧边和底座上设置有多个抽真空孔，且抽真空孔包括大抽真空孔和小抽真空孔，所述金属模具内表面设置有非吸水性膜芯，所述金属模具外设置有外模具，且外模具内填充有石英棉，所述金属模具与外模具中间设置有吸水性槽体，且吸水性槽体和外模具都呈U字形状。本实用结构简单，实用性强，具有较大的推广价值。

技术领域

本发明涉及模具技术领域，具体为一种制作石英坩埚用金属模具。

背景技术

石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，是作为太阳能、半导体行业拉制单晶硅必不可少的容易。生产石英坩埚的核心技术在于熔制模具。目前的熔制模具主要是采用石墨模具和钢模模具，其普遍存在的问题主要有以下几点：①熔制温度较低；②需加装水冷套，模具耐高温性能差；③模具使用寿命较短，每个石墨模具能够熔制200只坩埚左右，而用生铁浇铸的钢模模具也只能达到600只左右；④原材料要求较高，不能使用品质较低的国产石英砂，只能依赖价格昂贵的进口石英砂；⑤熔制时间较长生产效率低；⑥能耗太高，电费负担较重。

发明内容

本发明的目的在于提供一种制作坩埚用金属模具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种制作坩埚用金属模具，包括金属模具，所述金属模具包括侧边和底座，且侧边与底座在连接点处为可拆卸式连接，所述侧边两边底部设置有螺纹槽，且底座两边上部设置有螺纹杆，所述螺纹槽与底座可以无缝连接在一起，所述金属模具侧边和底座上设置有多个抽真空孔，且抽真空孔包括大抽真空孔和小抽真空孔，所述大抽真空孔在金属模具内表面，且小抽真空孔设置在金属模具外表面，所述金属模具内表面设置有非吸水性膜芯，所述金属模具外设置有外模具，且外模具内填充有石英棉，所述金属模具与外模具中间设置有吸水性槽体，且吸水性槽体和外模具都呈U字形状。

优选的，金属模具由多道钨、钼、锌合金液涂布制成。

优选的，非吸水性膜芯为不锈钢模芯，且吸水性槽体为石膏槽体。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本新型制作坩埚用金属模具，采用钨钼锌合金模具，提高了模具强度，使模具在高温熔制过程中不会爆裂，降低了模具的消耗和热处理能耗，减少了能源浪费，延长了模具使用寿命。增加外模具，解决了传统模具外部需提供为模具降温的水冷套。将抽真空孔设置为大抽真空孔和小抽真空孔，可以避免石英砂在高温下融化产生的气体将抽真空孔堵塞。本装置为可拆卸式组合式金属模具，可以选择性选择需要更换的部位，节省了生产成本。设置非吸水性膜芯和吸水性槽体，可以使浆料中的杂质和细小颗粒向坩埚外壁运动，从而提高了坩埚内壁的纯度与粗糙度。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明抽真空孔放大结构示意图；

图3为本发明连接点放大结构示意图。

图中：1金属模具、2侧边、21螺纹槽、3底座、31螺纹杆、4抽真空孔、41大抽真空孔、42小抽真空孔、5连接点、6非吸水性膜芯、7吸水性槽体、8外模具、9石英棉。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。