[发明专利]一种用于分类回收的微机电系统的拆卸的方法

权利要求书

1.一种用于分类回收的微机电系统的拆卸的方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1将微机电系统进行加热使其环氧树脂变性；

S2分离微机电系统的引线框架与MEMS芯片；

S3将MEMS芯片置于酸性溶液中浸泡以腐蚀芯片层中粘合剂，取出MEMS芯片的机械结构层，完成微机电系统的拆卸。

2.根据权利要求1所述的用于分类回收的微机电系统的拆卸的方法，其特征在于：所述步骤s1中提供了一种用于夹持多个微机电系统进行加热的加热固定架。

3.根据权利要求2所述的用于分类回收的微机电系统的拆卸的方法，其特征在于：所述加热固定架包括固定底座，所述固定底座顶部设置水平并列布置的若干U型槽，所述U型槽开口对应侧设置有相对于U型槽位置可调的紧固装置，用于结合U型槽固定MEMS芯片。

4.根据权利要求1所述的用于分类回收的微机电系统的拆卸的方法，其特征在于：所述步骤s1中对微机电系统进行加热采用热风枪或电加热炉，加热温度大于200摄氏度。

5.根据权利要求1所述的用于分类回收的微机电系统的拆卸的方法，其特征在于：所述步骤s3中提供一种用于夹持微机电系统进行MEMS芯片机械结构层分离的分离芯片固定架。

6.根据权利要求5所述的用于分类回收的微机电系统的拆卸的方法，其特征在于：所述分离芯片固定架包括安装底座，所述安装底座上设置有两个相互位置可调的夹持体，所述夹持体由螺栓连接实现位置的调节。

7.根据权利要求1所述的用于分类回收的微机电系统的拆卸的方法，其特征在于：所述步骤s3中MEMS芯片置于酸性溶液中浸泡后，还包括对MEMS芯片进行清洗及废液后处理，具体为：

使用去离子水清洗MEMS芯片表面；

使用碱性试剂中和处理使用过的酸性溶液，防止污染环境。

8.根据权利要求1所述的用于分类回收的微机电系统的拆卸的方法，其特征在于：所述酸性溶液的浓度大于10mol/L。