[发明专利]改善HTO厚度稳定性的方法

权利要求书

1.一种改善HTO厚度稳定性的方法，其特征在于：在炉管HTO机台正常的工艺过程中，在累积膜厚达到一定数值时，自动运行新的循环清洁程式，该循环清洁程式采用高低温度/压力同时切换的方式，在高压高温条件下，利用蒸汽压的不同将含氯副产物转化成气态带出，达到有效去除的效果；

所述高压为50torr，所述高温为780℃，所述低温为600℃；所述循环清洁程式采用高低温度/压力同时切换的方式是指，在780℃高温情况下反复抽真空清洁半个小时，然后将温度降低到600℃，压力回到50torr进行清洁。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述累积膜厚达到一定数值是指膜厚达到1μm～2μm。