[发明专利]集尘设备

说明书

本发明提供一种集尘设备，所述集尘设备包括灰尘收集装置、第一管道及第二管道，所述第一管道的入口与生产设备连接，所述第一管道的出口与所述灰尘收集装置连接，所述第二管道的入口与所述灰尘收集装置，所述第二管道的出口与所述生产设备连接，所述灰尘收集装置包括外壳、集尘箱、过滤器及负压结构，所述集尘箱、过滤器、负压结构均位于所述外壳内，所述过滤器位于所述集尘箱与所述负压结构之间，所述第一管道的出口位于所述集尘箱与所述过滤器之间，所述第二管道的入口及所述负压结构均位于所述过滤器的上方。本发明提出的集尘设备在灰尘未冷却时便可以对灰尘进行收集，提升了灰尘收集效率，避免造成管道堵塞、负压下降而引起设备停机。

技术领域

本发明涉及柔性显示制造工艺领域，尤其涉及一种集尘设备。

背景技术

现有的AMOLED和柔性制程设备，例如，含有特气制程的等离子增强化学气相沉积机(PECVD)、OLED及柔性封装机(ALD&TFE)等设备生产时会产生大量的粉尘类副产物，这些粉尘类副产物冷却后会凝结粘附在粉尘排气管路的侧壁，造成管路负压不足或堵塞管路，因此，需要定期对粉尘排气管路进行保养清理；现有的保养清理方法主要依赖在厂务端安装大型集尘设备，通过大型集尘设备产生负压抽走粉尘后到厂务端再收集处理，这种保养清理方法的缺点在于厂务端的大型集尘设备距离生产设备端较远，粉尘排放输送不理想，收集效率也不高，粉尘易于在排气中间段管路即已冷却而凝结，造成管路堵塞、负压下降而引起设备停机，且管路中残留的粉尘不易清洁，堵管后需停机维护，从而影响设备运行时间、降低产能。

发明内容

为了解决现有技术的不足，本发明提供一种集尘设备，能够在灰尘未冷却时对灰尘进行收集，提升了灰尘收集效率，避免了造成管道堵塞、负压下降而引起设备停机。

本发明提出的具体技术方案为：提供一种集尘设备，所述集尘设备包括灰尘收集装置、第一管道及第二管道，所述第一管道的入口与生产设备连接，所述第一管道的出口与所述灰尘收集装置连接，所述第二管道的入口与所述灰尘收集装置，所述第二管道的出口与所述生产设备连接，所述灰尘收集装置包括外壳、集尘箱、过滤器及负压结构，所述集尘箱、过滤器、负压结构均位于所述外壳内，所述过滤器位于所述集尘箱与所述负压结构之间，所述第一管道的出口位于所述集尘箱与所述过滤器之间，所述第二管道的入口及所述负压结构均位于所述过滤器的上方。

进一步地，所述过滤器包括固定于所述外壳上的外框及装设于所述外框上的滤网。

进一步地，所述灰尘收集装置还包括吹气结构，所述吹气结构设于所述集尘箱与所述过滤器之间。

进一步地，所述吹气结构设于所述第一管道的出口与所述过滤器之间。

进一步地，所述吹气结构为压缩空气喷枪。

进一步地，所述集尘设备还包括第三管道、第一阀门、第二阀门及第三阀门，所述第三管道设于所述第一管道与所述第二管道之间并连通所述第一管道与所述第二管道，所述第一阀门设于所述第一管道的出口与所述第三管道之间，所述第二阀门设于所述第二管道的入口与所述第三管道之间，所述第三阀门设于所述第三管道上。

进一步地，所述第一管道与所述第二管道平行，所述第三管道与所述第一管道垂直。

进一步地，所述集尘设备还包括第四阀门和第五阀门，所述第四阀门设于所述第一管道的入口与所述第三管道之间，所述第五阀门设于所述第二管道的出口与所述第三管道之间。

进一步地，所述集尘设备还包括设于所述外壳上的透明窗口。

本发明提出的集尘设备包括灰尘收集装置、第一管道及第二管道，所述集尘设备直接通过第一管道、第二管道与生产设备连接，所述集尘设备结构简单且集尘设备与生产设备之间的距离较短，在灰尘未冷却时便可以对灰尘进行收集，提升了灰尘收集效率，避免造成管道堵塞、负压下降而引起设备停机。

附图说明