[发明专利]图像传感器及其形成方法

权利要求书

1.一种图像传感器的形成方法，其特征在于，包括：

提供初始基底；

去除部分初始基底，形成基底，所述基底顶部具有若干第一开口，所述第一开口的顶部尺寸大于底部尺寸，且所述第一开口顶部所在的平面与第一开口的侧壁构成锐角；

在所述基底顶部以及第一开口内形成隔离层，所述隔离层充满第一开口；

在所述隔离层的顶部表面形成滤色镜和位于滤色镜表面的透镜。

2.如权利要求1所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，所述基底的形成步骤包括：在所述初始基底表面形成第一掩膜层，所述第一掩膜层暴露出部分初始基底的表面；以所述第一掩膜层为掩膜，刻蚀所述初始基底，形成基底，所述基底顶部具有第一开口。

3.如权利要求2所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，所述初始基底的材料包括硅；以所述第一掩膜层为掩膜，刻蚀所述初始基底的工艺包括：

湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺中的一种或者两种组合。

4.如权利要求3所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，所述湿法刻蚀工艺的参数包括：刻蚀剂包括四甲基氢氧化铵，所述刻蚀剂的质量分数为10％～30％。

5.如权利要求1所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，所述第一开口的侧壁具有相对的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和第二侧壁构成的夹角为：70.5度。

6.如权利要求1所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，所述初始基底顶部表面的晶向为<100>；所述第一开口侧壁表面的晶向为<111>。

7.如权利要求1所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，所述隔离层的材料包括二氧化硅；所述滤色镜包括：红色滤色镜、绿色滤色镜或者蓝色滤色镜，所述基底包括若干传感区，所述红色滤色镜绿色滤色镜和蓝色滤色镜分别位于不同的传感区内，且每一个传感区内具有一种颜色的滤色镜。

8.如权利要求1所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，相邻滤色镜之间具有金属栅格；所述金属栅格的材料为金属。

9.如权利要求1所述的图像传感器的形成方法，其特征在于，所述基底包括若干传感区，所述传感区内具有若干第一开口，且若干第一开口底部的基底内具有光电二极管。

10.一种图形传感器，其特征在于，包括：

基底，所述基底的顶部具有第一开口，所述第一开口的顶部尺寸小于底部尺寸，且所述第一开口底部所在的平面与第一开口侧壁构成锐角；

位于所述基底顶部、以及第一开口内的隔离层，所述隔离层充满第一开口；

位于所述隔离层表面的滤色镜；

位于所述滤色镜表面的透镜。