[发明专利]一种望远镜系统多视场波前测量装置及方法在审
申请号: | 201711423799.5 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN107966279A | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 陈国庆;薛彬;杨建峰;马小龙;赵意意;贺应红;周少攀;吕娟;闫兴涛;李福;钱崇森 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所;中国科学院大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人: | 唐沛 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 望远镜 系统 视场 测量 装置 方法 | ||
1.一种望远镜系统多视场波前测量装置,其特征在于:包括激光器(1)、激光准直镜(2)、分光板(3)、哈特曼波前测量仪(4)、数据处理上位机(5)、五维调节平台(6)、电动旋转台(7)、双轴倾斜平台(8)以及标准平面反射镜(9);
激光器(1)发出激光光束通过激光准直镜(2)后产生平面波光束,平面波光束45°入射分光板(3)后形成相互垂直的一路透射光和一路反射光;
所述透射光的光路上依次设五维调节平台(6)和标准平面反射镜(9);被测望远镜系统(10)安装在五维调节平台(6)上;标准平面反射镜(9)的下方安装双轴倾斜平台(8);所述电动旋转台(7)安装在被测望远镜系统(10)和五维调节平台(6)之间或者安装在标准平面反射镜(9)于双轴倾斜平台(8)之间;
所述透射光经标准平面反射镜(9)反射后按原路返回,按原路返回的光再次经分光板(3)反射后的光路上设置哈特曼波前测量仪(4);所述哈特曼波前测量仪(4)与数据处理上位机(5)电连接;
其中,激光器(1)发出激光光束的波长为被测望远镜系统(10)的工作波长。
2.根据权利要求1所述的望远镜系统多视场波前测量装置,其特征在于:所述测量装置中分光板(3)与被测望远镜系统(10)之间或者分光板(3)与哈特曼波前测量仪(4)之间安装缩束镜(11)。
3.根据权利要求1或2所述的望远镜系统多视场波前测量装置,其特征在于:所述标准平面反射镜(9)的一侧或者是被测望远镜系统(10)一侧安装激光自准直仪(12)。
4.根据权利要求1所述的望远镜系统多视场波前测量装置,其特征在于:所述激光器(1)为可调谐宽波段光纤激光器。
5.根据权利要求1所述的望远镜系统多视场波前测量装置,其特征在于:所述激光准直镜(2)为光纤激光准直镜。
6.根据权利要求1所述的望远镜系统多视场波前测量装置,其特征在于:所述分光板(3)上设置有反射膜和增透膜,并且反射膜和增透膜均为宽光谱段的膜系。
7.基于权利要求1-6任一权利要求所述的望远镜系统多视场波前测量装置的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)测量未安装被测望远镜系统(10)时,测量系统本体的波前
1.1)激光器(1)发射出与被测望远镜系统(10)的工作波长相同的激光,通过激光准直镜(2)后形成平面波光束;
1.2)平面波光束经过分光板(3)后,透射光在标准平面反射镜(9)的作用下原路返回,再次经过分光板(3)反射后垂直入射至哈特曼波前测量仪(4)的感光面;
其中,标准平面反射镜(9)的俯仰角和倾斜角通过双轴倾斜平台(8)进行调节,使得哈特曼波前测量仪(4)测得光束的俯仰、倾斜均为零;
1.3)通过数据处理上位机(5)设置哈特曼波前测量仪(4)曝光时间使哈特曼波前测量仪感光面上的光强为探测器饱和光强95%~99%之间,设置采样20次后求取平均值,从而获得测量系统本体的波前;
1.4)通过数据处理上位机(5)将测量的测量系统本体的波前数据保存,记为Wsystem;
2)测量被测望远镜系统(10)中心视场的波前记为WField_0;
2.1)在五维调节平台(6)上安装被测望远镜系统(10),激光器(1)发射出与被测望远镜系统(10)的工作波长相同的激光,通过激光准直镜(2)后形成平面波光束;
2.2)平面波光束经过分光板(3)后,粗调五维调节平台(6)使得透射光通过被测望远镜系统(10)后,垂直入射标准平面反射镜(9)后按原路返回至分光板(3),再经分光板(3)反射至哈特曼波前测量仪(4)的感光面;
2.3)通过五维调节平台(6)精细调节被测望远镜系统(10)的俯仰、倾斜、方位及高低使得哈特曼波前测量仪(4)测得射入的光束的俯仰、倾斜为零,并且光束在哈特曼波前测量仪(4)的感光面中心;
2.4)通过数据处理上位机(5)设置哈特曼波前测量仪(4)曝光时间使哈特曼波前测量仪感光面上的光强为探测器饱和光强95%~99%之间的范围,设置采样20次后求取平均值,从而获得加入被测望远镜系统(10)后,并在其零视场条件下测量系统的波前,记为W0;
2.5)由数据处理上位机(5)根据下式计算被测望远镜系统(10)中心视场的波前WField_0;
3)测量被测望远镜系统(10)外视场的波前WField_θ;
3.1)调节电动旋转台(7)使得标准平面反射镜(9)旋转的角度θ与被测望远镜系统(10)所需测量的视场角相等;
3.2)通过五维调节平台(6)精细调节被测望远镜系统(10)的俯仰、倾斜、方位和高低使得哈特曼波前测量仪(4)测得射入光束的俯仰、倾斜为零,并且该光束在哈特曼波前测量仪(4)感光面中心;
3.3)通过数据处理上位机(5)设置哈特曼波前测量仪(4)曝光时间使哈特曼波前测量仪感光面上的光强为探测器饱和光强95%~99%之间的范围,设置采样20次后求取平均值,测得加入被测望远镜系统(10),并在其外视场为θ条件下测量系统的波前,记为Wθ;
3.4)由数据处理上位机(5)根据下式计算被测望远镜系统(10)外视场的波前WField_θ;
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