[发明专利]一种单晶硅片制绒废液的处理方法

权利要求书

1.一种单晶硅片制绒废液的处理方法，包括如下步骤：

（A）将单晶硅片制绒废液从废液罐（1）中输送至粗蒸塔（2）进行二元共沸蒸馏，由塔顶经第一冷凝器（31）冷凝得到异丙醇与水共沸形成的粗异丙醇，由塔底得到氢氧化钠与硅酸钠的水溶液；

（B）将步骤（A）中得到的氢氧化钠与硅酸钠的水溶液输送至萃取塔（4）内使用萃取剂对氢氧化钠进行萃取，由塔顶经第二冷凝器（32）冷凝得到氢氧化钠的萃取剂溶液，由塔底得到硅酸钠的水溶液；

（C）将步骤（B）中得到的氢氧化钠的萃取剂溶液输送至反萃取塔（5）内使用反萃剂进行反萃取，由塔顶经第三冷凝器（33）冷凝重新得到步骤（B）中使用的萃取剂，由塔底得到氢氧化钠的反萃剂溶液；

（D）将步骤（C）中得到的氢氧化钠的反萃剂溶液通过蒸馏器（6）进行充氮蒸馏，蒸馏得到反萃剂并补充回反萃取塔（5），蒸馏器（6）内得到冷却结晶后的固体氢氧化钠；

（E）将步骤（A）中得到的粗异丙醇输送至脱水罐（7）中，使用步骤（D）中得到的固体氢氧化钠作为脱水剂对粗异丙醇进行脱水，期间进行不停搅拌，而后静置分层，分别得到含水量小于2%的异丙醇以及氢氧化钠水溶液；

（F）将步骤（E）中得到的含水量小于2%的异丙醇输送至恒沸精馏塔（8）中进行恒沸精馏，由塔顶经第四冷凝器（34）冷凝得到含异丙醇、水、恒沸剂的三元恒沸物，由塔底得到含水量小于0.5%的异丙醇；

（G）将步骤（F）中得到的含异丙醇、水、恒沸剂的三元恒沸物输送至液体分离器（9）进行分层，上层得到恒沸剂并将其回收补充至恒沸精馏塔（8）用，下层得到异丙醇、水以及残留的恒沸剂的混合物；

（H）将步骤（G）得到的异丙醇、水以及残留的恒沸剂的混合物输送至再沸塔（10）进行再处理，由塔顶经第五冷凝器（35）冷凝再次得到含异丙醇、水、恒沸剂的三元恒沸物并回送至液体分离器（9）中，由异丙醇和水组成的塔底釜液返回粗蒸塔（2）中重新进行分离。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片制绒废液的处理方法，其特征在于：步骤（A）中粗蒸塔（2）的塔顶温度范围为70～75℃，塔底温度范围为80～85℃，塔顶压力为0.05MPa，回流温度为45℃，粗异丙醇中水的质量浓度为12.6%。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片制绒废液的处理方法，其特征在于：步骤（B）中氢氧化钠与硅酸钠的水溶液中氢氧化钠质量浓度为17%～32%，萃取剂为饱和醋酸钾乙二醇，萃取剂与氢氧化钠的剂料质量比为1:3，萃取温度为40℃，时间范围为1.5～2小时，采出温度80℃。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片制绒废液的处理方法，其特征在于：步骤（C）中的反萃取剂为纯水，反萃取剂与氢氧化钠的剂料质量比为3:1，反萃温度为50℃，时间范围为0.5～1小时。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片制绒废液的处理方法，其特征在于：步骤（D）中的蒸馏器（6）的氮气压力为0.1MPa，温度为150℃，时间范围为10～15分钟。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片制绒废液的处理方法，其特征在于：步骤（E）中使用的固体氢氧化钠与粗异丙醇的质量比为1:9～1:7。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片制绒废液的处理方法，其特征在于：步骤（F）中使用的恒沸剂为乙二醇、甘油、环己烷、C6油中的一种，恒沸剂与异丙醇的剂料质量比为1:2，萃取温度为35℃，萃取时间为2小时，回流比为1:0.5～1:5，采出温度为85℃。