[发明专利]一种柔性气体传感器

权利要求书

1.一种柔性气体传感器，其包括柔性衬底、气体传感阵列、空隙以及空腔，其特征在于，所述柔性衬底中形成凹槽，所述凹槽的底部和侧壁形成一刚性绝缘层，所述刚性绝缘层的弹性模量小于柔性衬底的弹性模量，在所述凹槽底部的刚性绝缘层上设置阵列气体传感器，阵列气体传感器包括多个阵列排布的传感位点，在阵列气体传感位点上方形成空隙，所述空隙的上方具有盖层，所述盖层中设置有通气孔，所述空腔设置在凹槽一侧的柔性衬底中，空腔与凹槽之间具有刚性绝缘层，空腔与刚性绝缘层之间通过部分柔性衬底相隔开，在空腔与凹槽之间的刚性绝缘层和柔性衬底部分具有通孔，所述空腔在柔性衬底发生形变时体积产生变化；

所述凹槽的形状为正方形，所述凹槽底部正方形的一边的刚性绝缘层中设置一长条形金属电极，所述凹槽的侧壁的刚性绝缘层中设置竖直排列的金属细电极；

所述长条形金属电极与所述金属细电极均延伸至柔性衬底表面；

所述盖层采用与所述柔性衬底相同的材料形成；

所述空腔的形状也为正方形，且空腔的数量为多个围绕凹槽周围设置；

所述空腔的边长为所述凹槽边长的2倍以上；

所述长条形金属电极作为阵列气体传感器的公共电极，所述阵列气体传感器的传感位点连接至公共电极以及分别连接至金属细电极；

所述阵列气体传感器的传感位点为m行n列阵列，其中m≥2，n大于等于3，所述传感位点按行分为不同气体传感单元，每个气体传感单元中的气体传感位点采用同种气体敏感材料，不同的气体传感单元中采用不同的气体敏感材料。