[发明专利]一种基于氧化锆复合材料的湿敏传感器

说明书

本发明涉及一种基于氧化锆复合材料的湿敏传感器，该湿敏传感器为电阻式，包括硅片衬底，在硅片衬底上设有WO₃薄膜，WO₃薄膜之上设有插指电极，并且在WO₃薄膜之上、插指电极四周设有ZrO₂薄膜，在插指电极和ZrO₂薄膜之上设有CeO₂薄膜，即，在WO₃薄膜和CeO₂薄膜之间设有插指电极和ZrO₂薄膜；这样使得该插指电极能够同时接触WO₃薄膜、CeO₂薄膜和ZrO₂薄膜。

技术领域

本发明涉及湿敏传感器技术领域，尤其涉及一种基于氧化锆复合材料的湿敏传感器。

背景技术

湿度是一个重要的环境因素。比如，人一般在45～55％的相对湿度下感觉最舒适，湿度过高或过低都会引起人的不适感；在储藏领域，保障货物在相对合适的湿度下存放，有助于防止食物腐烂及金属材料生锈和化学药品的变质；在电子工业生产领域，湿度的合理控制决定了电子产品的高质量。对湿度的检测和控制直接关系到经济的发展和生活的舒适度。

湿度传感器是检测湿度的常用工具，其是常用的传感器之一，被广泛用于工农业生产、日常生活、气象、环保、航天等领域，但目前大部分商用湿度传感器存在着响应恢复速度较慢、稳定性较差等缺点。

发明内容

基于上述技术问题，为了改善湿敏传感器的响应恢复速度及提高长时间工作的稳定性，本发明旨在提供一种基于氧化锆复合材料的湿敏传感器，以解决上述提出问题。

本发明的实施例中提供了一种基于氧化锆复合材料的湿敏传感器，该湿敏传感器为电阻式，包括硅片衬底，在硅片衬底上设有WO₃薄膜，WO₃薄膜之上设有插指电极，并且在WO₃薄膜之上、插指电极四周设有ZrO₂薄膜，在插指电极和ZrO₂薄膜之上设有CeO₂薄膜，即，在WO₃薄膜和CeO₂薄膜之间设有插指电极和ZrO₂薄膜；这样使得该插指电极能够同时接触WO₃薄膜、CeO₂薄膜和ZrO₂薄膜。

本发明的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：

本发明的湿敏传感器创造性的在插指电极四周设有ZrO₂薄膜，然后在插指电极和ZrO₂薄膜上、下设有CeO₂薄膜和WO₃薄膜，然后经过烧结，上述各物质能够同时作用于插指电极并反馈湿度信息，取得了意料不到的技术效果，使得该湿敏传感器的响应恢复速度大大提高，并提高了重复使用的稳定性。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。

附图说明

利用附图对本发明作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本发明的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。

图1是本发明实施例湿敏传感器的结构示意图。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本发明相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本发明的一些方面相一致的装置和方法的例子。