[发明专利]一种具有微结构的柔性热释电敏感薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201711427055.0 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108172691B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 黎威志;李航;张天;高若尧;太惠玲;苏元捷;于贺 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48;G01J5/34 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼;刘东 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热释电 敏感薄膜 微结构 制备 溶剂挥发 流延 薄膜 丝网印刷网板 薄膜微结构 聚合物溶液 丝网印刷法 环境要求 流延成膜 退极化 取下 配置 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有微结构的柔性热释电敏感薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤1：配置热释电聚合物溶液；
步骤2：将所述溶液第一次流延至流延板(1)上，溶剂挥发后形成薄膜(3)；
步骤3：采用丝网印刷法在所述薄膜(3)上将所述溶液进行第二次流延，溶剂挥发后形成薄膜微结构(7)；
步骤4：取下丝网印刷法中使用的丝网印刷网板(4)，得到具有微结构的柔性热释电敏感薄膜。
2.根据权利要求1所述的一种具有微结构的柔性热释电敏感薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤1中，所述热释电聚合物溶液的浓度百分比为4wt％-30wt％。
3.根据权利要求1所述的一种具有微结构的柔性热释电敏感薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤2的薄膜(3)和步骤3的薄膜微结构(7)的厚度为10μm-100μm。
4.根据权利要求1所述的一种具有微结构的柔性热释电敏感薄膜的制备方法，其特征在于：所述步骤3中丝网印刷法的具体内容步骤为：
S301：将丝网印刷网板(4)下表面紧贴薄膜(3)上表面；
S302：将所述溶液第二次流延在所述丝网印刷网板(4)上表面；
S303：使用刮胶刀将第二次流延的溶液压入所述丝网印刷网板(4)镂空区域，完成丝网印刷。
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