[发明专利]一种太阳黑硅电池硅片的处理方法在审

专利信息
申请号: 201711429537.X 申请日: 2017-12-26
公开(公告)号: CN108172662A 公开(公告)日: 2018-06-15
发明(设计)人: 王永伟;朱杰;卫春燕;王猛;陈亮;张维 申请(专利权)人: 苏州日弈新电子科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 李广;冯瑞
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 电池硅片 硅酸钾 硅酸钠 化学品 黑硅 清洗 废液排放 硅片表面 烘干处理 化学腐蚀 碱溶液 氢氟酸 损伤层 太阳 硝酸 沉银 扩孔 水中 酸洗 脱银 挖孔 去除 修饰
【说明书】:

发明公开了一种太阳黑硅电池硅片的处理方法,包括以下步骤:使用碱溶液对硅片的表面进行化学腐蚀处理,以除去硅片表面的损伤层;将经过处理后的硅片在20‑80℃的纯水中进行清洗,清洗次数至少一次;将处理后的硅片进行沉银、挖孔、脱银、扩孔、修饰、酸洗、烘干处理。本发明在20‑80℃的纯水中将硅酸钠或硅酸钾去除,不用硝酸、氢氟酸等化学品处理硅酸钠或硅酸钾,减少了化学品的用量,也减少了氮、氟的废液排放。

技术领域

本发明涉及晶硅太阳能电池领域,具体涉及一种太阳黑硅电池硅片硅酸钠或硅酸钾的处理方法。

背景技术

目前在晶硅太阳能电池领域,比较常见的三种晶硅基体电池是多晶、单晶、类单晶,硅片切割方式比较常见的是砂浆切割和金刚线切割。常规多晶一般采取酸制绒的方式,形成蠕虫状的坑洞,该方法处理过的硅片表面反射率较高,其光电转换效率难以进一步提升;常规单晶一般采取碱制绒的方式,形成金字塔状结构,其反射率相对多晶有较大幅度的降低。

从制作成本方面来看,金刚线切割方式大大降低了单、多晶的切割成本,金刚线单晶片采用碱制绒,能较好的进行工艺选择和匹配,而金刚线多晶片使用常规酸制绒,反射率高且外观有线痕缺陷,严重影响了金刚线多晶片的光电转换效率。由于类单晶集单、多晶于一体,理论上其光电转换效率介于单、多晶之间,但由于其制绒方案有限,所以一直没有实现规模化生产。

基于以上因素,“黑硅”技术应运而生,“黑硅”技术主要包括碱抛去损伤层、沉银、挖孔、脱银、扩孔、修饰、酸洗、烘干等步骤,此技术不受硅基体切割方式影响,形成的纳米绒面结构起到很好的陷光效应,显著的提升了晶硅电池的光电转换效率。但是,“黑硅”工艺在用碱液处理硅片损伤层时,会有硅酸钠或硅酸钾产生,硅酸钠或硅酸钾有粘性,会粘在硅片表面和边缘,会阻碍后面的沉银、挖孔等步骤,所以需要将硅酸钠或硅酸钾去除,目前较常用的去除方法是用硝酸、氢氟酸等化学品处理硅酸钠或硅酸钾,这种方法虽然会将硅酸钠或硅酸钾去除,但增加了化学品的用量,也增加了氮、氟的废液排放。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种太阳黑硅电池硅片的处理方法,该方法在清洗过程中只使用纯水,大大降低了化学品使用量和氮、氟等废液排放。

为了解决上述技术问题,本发明提供一种太阳黑硅电池硅片的处理方法,包括以下步骤:

S101使用碱溶液对硅片的表面进行化学腐蚀处理,以除去硅片表面的损伤层;

S102将经过步骤S101处理后的硅片在20-80℃的纯水中进行清洗,清洗次数至少一次;

S103将步骤S102处理后的硅片进行沉银、挖孔、脱银、扩孔、修饰、酸洗、烘干处理。

优选地,步骤S101中,所述硅片的晶型为单晶、多晶、类单晶。

优选地,步骤S101中,所述碱溶液为氢氧化钠和/氢氧化钾。

本发明的技术效果:

本发明的“黑硅”工艺在用碱液处理硅片损伤层时,会有硅酸钠或硅酸钾产生,硅酸钠或硅酸钾有粘性,会粘在硅片表面和边缘,会阻碍后面的沉银、挖孔等步骤,本发明在20-80℃的纯水中将硅酸钠或硅酸钾去除,不用硝酸、氢氟酸等化学品处理硅酸钠或硅酸钾,减少了化学品的用量,也减少了氮、氟的废液排放。

本发明的技术方案适用于单晶、多晶和类单晶,基体选择不受限制,采用本发明的清洗去除方法,在清洗过程中不使用任何化学品,只使用纯水,大大降低了化学品使用量和氮、氟等废液排放。

本发明的处理方法制备的硅片产品的电性参数没有降低,并且光电转换效率与酸洗相同,在不影响电学性能的同时,减少污染物的排放,是一种环保型的工艺方法。

具体实施方式

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