[发明专利]先进制造模式扩散的鲁棒控制器

权利要求书

1.一种先进制造模式扩散的鲁棒控制器，其特征在于，包括先进制造模式扩散外部干预的动态模型，其中从r到e，u到y的闭环传递函数为：

S=(I+GK)-1R=K(I+GK)-1+KST=GK(I+GK)-1=I-S---(11)]]>

在误差信号后加入加权函数W₁，表示对整个外部干预系统性能要求的约束，通过对W₁的调整可以有效抑制外部干预的影响，获得希望输出的信号结果；在控制器后加入加权函数W₂，表示系统对加性不确定性的限制，可以看成是对外部干预信号幅值的约束；在被控系统后加入加权函数W₃，表示系统对乘性不确定性的限制，由先进制造模式扩散模型本身特性所决定的；W₁、W₂、W₃的输出信号为整个外部干预系统的评价信号；

考虑加权函数的混合灵敏度问题的标准框架为：

式中，W₁，W₂，W₃——加权矩阵；I——单位矩阵；u＝Ke，其中，K——控制器增益阵；

由上式可以得到被控系统的广义对象为

它的时域状态空间表达式为

式(13)、式(14)的两种表达方式可以互相转化。

所构成的闭环系统传递函数阵为

P=W1SW2RW3T---(15)]]>

式中，W₁S代表对外部干预系统的性能要求，W₂R和W₃T代表对系统鲁棒稳定性的要求。混合灵敏度问题就是求出一个真实有理函数控制器K，使得加入W₁、W₂、W₃的先进制造模式扩散外部干预的动态模型所示闭环系统稳定，且满足||P||_∞＜1的条件。