[发明专利]一种柔性基板的改性方法有效
申请号: | 201711434964.7 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN108091581B | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 王亚楠 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/15 |
代理公司: | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人: | 潘中毅;熊贤卿 |
地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性基板 玻璃基板 混合物 纤维素纳米 剥离 改性 聚酰亚胺溶液 得到混合物 混合物涂布 加热固化 牺牲层 烘烤 溶剂 相态 去除 优化 激光 聚焦 | ||
本发明提供一种柔性基板的改性方法,该方法包括下述步骤:将聚酰亚胺溶液与纤维素纳米晶材料进行混合,得到混合物,并将混合物涂布在玻璃基板上;对涂布在玻璃基板上的混合物进行烘烤,去除混合物中的溶剂,并将混合物进行相态分离,并使得纤维素纳米晶材料靠近玻璃基板;对混合物进行加热固化,得到柔性基板;利用激光对柔性基板进行聚焦,将柔性基板与玻璃基板剥离。本发明可以降低柔性基板与玻璃基板的剥离难度,并且不需要借由牺牲层进行剥离。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性基板的改性方法。
背景技术
柔性显示为当前显示行业的一主要发展方向,柔性显示可以实现多种应用场景,为生活工作提供便携及丰富体验。各种柔性技术的发展都基于材料的选取及优化,合适的材料搭配及改性可以简化制程,降低制程难度,提高柔性显示器件的表现。
在柔性基板方面,目前有多种材料诸如PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯)、TAC(三醋酸纤维素)、PI(聚酰亚胺)、薄化玻璃等。柔性基板需要达到较好耐热性及高温尺寸稳定性,良好的柔韧度及较佳的阻水阻氧性,基板表面平整度也是后续制程的需求之一。综合各种需求考量,PI材料在各方面表现均展现出一定的优势,且对于LCD(Liquid Crystal Display,液晶显示器)制程,PI材料也为常用材料。常规的柔性基板制程,可以借由牺牲层进行剥离,在玻璃基板上涂覆PI材料制备柔性基板前,先在承载基板上涂布一层牺牲层,在制程完成后借由牺牲层在特定处理后黏着力下降,将PI材料制成的柔性基板从玻璃基板上分离;PI柔性基板可直接涂布在玻璃基板上,然后在柔性基板上完成LCD制程后,再用激光剥离的手法将柔性基板从玻璃基板上剥离。对于前种方式,牺牲层需要有较高的耐热特性及平整度,要求其在完成整个LCD过程中不能有变性或者剥离性变弱的问题,因此对牺牲层的材料要求较高。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供一种柔性基板的改性方法,可以降低柔性基板与玻璃基板的剥离难度,并且不需要借由牺牲层进行剥离。
本发明提供的一种柔性基板的改性方法,包括下述步骤:
将聚酰亚胺溶液与纤维素纳米晶材料进行混合,得到混合物,并将所述混合物涂布在玻璃基板上;
对涂布在所述玻璃基板上的混合物进行烘烤,去除所述混合物中的溶剂,将所述混合物进行相态分离,并使得所述纤维素纳米晶材料靠近所述玻璃基板;
对所述混合物进行加热固化,得到柔性基板;
利用激光对所述柔性基板进行聚焦,将所述柔性基板与所述玻璃基板剥离。
优选地,所述纤维素纳米晶材料的质量占所述聚酰亚胺溶液中的聚酰亚胺材料与所述纤维素纳米晶材料总质量的0.3%~10%。
优选地,对所述混合物进行烘烤时,烘烤温度为100℃~150℃。
优选地,对所述混合物进行加热固化时,加热温度范围为200℃~400℃。
优选地,利用激光对所述柔性基板进行聚焦中所述激光的波长为150nm~250nm。
优选地,所述聚酰亚胺溶液中的聚酰亚胺材料的化学结构式为:
其中,R为烷基链,n>1。
优选地,所述纤维素纳米晶材料的化学结构式为:
其中,R1、R2、R3、R4、R5以及R6均为烷基链,n>1。
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