[发明专利]拉曼光谱检测设备及其检测安全性的监控方法

权利要求书

1.一种拉曼光谱检测设备，包括：

激光器，用于发射激发光；

光学装置，用于将所述激发光引导至样品和收集来自所述样品的光信号；

光谱仪，用于对由光学装置收集的光信号进行分光以生成被检测的样品的拉曼光谱；以及

安全监控器，被配置成在来自激光器的激发光照射样品期间监测样品的安全状态并提供表征样品是否由于激发光照射而受到损坏的安全指示信号。

2.如权利要求1所述的拉曼光谱检测设备，其中，安全监控器包括：

温度传感器，被配置成在来自激光器的激光照射样品期间感测被检测的样品的温度或温度变化。

3.如权利要求2所述的拉曼光谱检测设备，其中，安全监控器包括相对于样品的不同位置以检测样品的温度或温度变化的多个所述温度传感器。

4.如权利要求2所述的拉曼光谱检测设备，其中，所述温度传感器包括：红外探测器，用于检测所述样品发出的红外光，以获得被检测的样品的温度或温度变化。

5.如权利要求4所述的拉曼光谱检测设备，其中，所述光学装置被配置成建立用于收集来自所述样品的光信号的拉曼光信号收集光路，并且其中，

所述光学装置包括：设置在所述拉曼光路信号收集光路中的第一分光镜，所述第一分光镜布置成形成从拉曼光路信号收集光路分支的红外辐射支路，以将来自样品的光中的红外光朝向红外探测器引导。

6.如权利要求5所述的拉曼光谱检测设备，其中，所述第一分光镜为短通二向色镜，所述短通二向色镜设置成将波长大于预定波长的光朝向红外探测器反射，而使波长小于该预定波长的光透射通过所述短通二向色镜，所述预定波长在700纳米至300微米之间。

7.如权利要求5所述的拉曼光谱检测设备，其中，所述第一分光镜设置成将来自样品的光信号中的一部分朝向红外探测器反射，而将所述光信号中的另一部分朝向光谱仪透射。

8.如权利要求5所述的拉曼光谱检测设备，其中，所述光学装置还包括：

设置在拉曼光信号收集光路中的第一会聚透镜，所述第一会聚透镜用于将激发光会聚到样品并收集来自样品的光信号；

设置在拉曼光信号收集光路中的第二会聚透镜，所述第二会聚透镜用于将收集来的光信号会聚到光谱仪；以及

第二分光镜，所述第二分光镜在所述拉曼光信号收集光路中位于第一分光镜和第二会聚透镜之间或位于第一分光镜和第一会聚透镜之间，并布置成用于将来自于激光器的激发光向第一会聚透镜反射并使由第一会聚透镜收集的来自样品的光信号的至少一部分透射通过该第二分光镜以射向所述第二会聚透镜。

9.如权利要求8所述的拉曼光谱检测设备，其中，所述第二分光镜为长通二向色镜。

10.如权利要求8所述的拉曼光谱检测设备，其中，所述光学装置还包括设置在所述拉曼光信号收集光路中的长通滤波片或陷波滤波片，所述长通滤波片或陷波滤波片位于所述第一分光镜的下游，用于滤除经过第一分光镜之后的光信号中的瑞利光。

11.如权利要求8所述的拉曼光谱检测设备，其中，所述光学装置还包括设置在所述拉曼光信号收集光路中的长通滤波片或陷波滤波片，所述长通滤波片或陷波滤波片位于所述样品和光谱仪之间，用于滤除光信号中的瑞利光。

12.如权利要求4所述的拉曼光谱检测设备，其中，所述光信号包括拉曼光谱信号和红外信号，所述光谱仪和红外探测器设置在同一探测器中，该探测器的一部分被配置成在来自激光器的激光照射样品期间检测所述样品发出的红外信号，该探测器的另一部分被配置成检测来自样品的拉曼光谱信号。

13.如权利要求1所述的拉曼光谱检测设备，其中，所述光学装置被配置成建立：

拉曼光信号收集光路，用于收集来自所述样品的光信号；以及

红外光收集光路，用于收集来自所述样品的红外光，所述红外光收集光路与所述拉曼光信号收集光路分离，或者红外光收集光路的至少一部分与拉曼光信号收集光路是同轴的。

14.如权利要求13所述的拉曼光谱检测设备，其中，从激光器至样品的激发光光路的至少一部分与拉曼光信号收集光路和红外光收集光路中的至少一个是同轴的，或者

该激发光光路与拉曼光信号收集光路或红外光收集光路是偏离的。