[发明专利]一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置

权利要求书

1.一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，其特征在于：所述缓存装置包括：底架，所述底架上设有运载花篮的传输装置，花篮放置在传输装置上，至少一个花篮经传输装置从底架一端移动到行程末端；所述底架下方设有举升花篮的举升装置，举升装置将到达行程末端的花篮托举。

2.根据权利要求1所述的一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，其特征在于：所述传输装置包括：

驱动机构，其驱动连接转轴；

同步带，所述同步带设有两条，分别安装在底架两侧，所述同步带设有主动轮及同步轮；

同步带主动轮，所述两条同步带主动轮同轴且分别与连接转轴连接；

所述同步带的同步轮分设同步带的两端。

3.根据权利要求2所述的一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，其特征在于：所述驱动机构为伺服电机，伺服电机输出轴连接齿轮减速机，齿轮减速机驱动连接转轴；所述伺服电机、齿轮减速机及连接转轴通过安装底板固定在底架上。

4.根据权利要求1所述的一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，其特征在于：所述同步带两端的同步轮安装在保护罩内，同步轮安装基座的两端设有防撞限位组件，防撞限位组件限制花篮的极限位置。

5.根据权利要求1至4任一项所述的一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，其特征在于：所述底架上设置安装支架组件，光电传感器设置在安装支架组件上。

6.根据权利要求5所述的一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，其特征在于：所述缓存装置设有两层相互独立推进的底架、传输装置；所述两层底架之间由竖直的撑杆连接；所述每层底架下方各设独立的举升装置。

7.根据权利要求5所述的一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，其特征在于：所述花篮举升装置包括：

竖直底板，其支撑花篮举升装置；

直线导轨，所述直线导轨的固定部竖直安装在竖直底板上；

多位置气缸，所述多位置气缸通过气缸安装板与竖直底板固定；

水平底板，所述水平底板与直线导轨的滑动部固定，且水平底板与多位置气缸通过浮动接头连接；

花篮托齿，所述花篮托齿固定在水平底板上，所述花篮托齿为半圆凹状，花篮托齿定位及支撑花篮。

8.根据权利要求7所述的一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，其特征在于：所述直线导轨设有两组，均连接竖直底板与水平底板。

9.根据权利要求7所述的一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，其特征在于：所述多位置气缸有设有两个行程：

第一段行程，花篮被推送到底架的行程末端，被端部限位机构限位，触发端部两侧的光电传感器，多位置气缸通过电磁阀接收指令进行第一段行程工作，多位置气缸托举硅片花篮底部与同步带脱离，同步带反向走一个单位间距，使得并行紧挨的花篮之间形成间隙；

第二段行程：同步带此反向单位间距走完，随即多位置气缸第二段行程动作，将目标花篮继续向上托举一段距离，花篮彻底从水平的花篮组中脱颖而出。

10.根据权利要求1所述的一种用于ALD自动化上下料机的花篮缓存装置，其特征在于：所述底架上放置多个花篮，一个花篮到达底架的行程末端被托举之后，通过机械或者人工在向底架放置一个花篮，保持底架上的至少有一个花篮待抓取。