[发明专利]三元系PSN-PZT压电陶瓷片及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201711440479.0 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN108275998A 公开(公告)日: 2018-07-13
发明(设计)人: 戴昭波;刘长流;张珍宣;张玉芬;陈键;高智红 申请(专利权)人: 贵州振华红云电子有限公司;贵州振华电子信息产业技术研究有限公司
主分类号: C04B35/491 分类号: C04B35/491;C04B35/622
代理公司: 贵阳春秋知识产权代理事务所(普通合伙) 52109 代理人: 杨云
地址: 550018 贵州省*** 国省代码: 贵州;52
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摘要:
搜索关键词: 制备 三元系 压电陶瓷片 配方化学 烘干 过筛 计量 机电耦合系数 陶瓷片表面 压电执行器 极化处理 介电常数 聚乙烯醇 驱动晶片 压电常数 陶瓷片 压电泵 原料球 被银 成坯 晶片 排胶 球磨 烧银 预烧 造粒 压制
【权利要求书】:

1.一种三元系PSN-PZT压电陶瓷片,其特征在于配方化学计量通式为:Pb1-x-yMxZy(Sb1/3Nb2/30.02(Zr1/2Ti1/20.98+zwt%Bi2O3,其中,x=0~0.17、y=0~0.1、z=0~0.4,M、Z为SrCO3、BaCO3或CaCO3中的至少两种。

2.根据权利要求1所述的三元系PSN-PZT压电陶瓷片,其特征在于:所述配方化学计量通式中的0<x≤0.15、0<y≤0.1、0<z≤0.4。

3.根据权利要求1所述的三元系PSN-PZT压电陶瓷片,其特征在于:所述配方化学计量通式中的0.07<x<0.14,0<y<0.08,0<z≤0.35。

4.一种制备权利要求1~3中任意一项所述的三元系PSN-PZT压电陶瓷片的方法,其特征在于其制备方法如下:

1)将所述配方化学计量通式中的原料与去离子水混合、球磨4h,得到第一浆料;球磨机转速为480r/min;

2)将所述第一浆料于110~130℃下烘干,粉碎、过40~60目筛,得第一筛下物;

3)将所述第一筛下物置于炉内,按2.5℃/min的速率升温至950~1150℃、保温2~4h,冷却,得预烧物料;

4)将所述预烧物料与去离子水混合、再次球磨4h,得到第二浆料;球磨机转速为480r/min;

5)将所述第二浆料于110~130℃下烘干,粉碎、过40~60目筛,得第二筛下物;

6)将所述第二筛下物与聚乙烯醇混合、造粒,压制成坯件;聚乙烯醇的添加量为第二筛下物的3~7wt%;

7)将所述坯件置于炉内,按0.5~1.5℃/min的速率升温至350~630℃、保温排胶240~480min;

8)将排胶后的坯件置于炉内,按2.3~2.8℃/min的速率升温至1200~1280℃、保温2~4h,随炉冷却,得陶瓷片;

9)在所述陶瓷片的表面涂覆银电极浆料,然后790~850℃烧银固化;

10)将经过被电极处理的陶瓷片置于20~60℃的硅油中,在1.5~2.5KV/㎜电场强度下极化23~30min。

5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤1)中,磨球、所述原料、去离子水的重量配比为2.2~4.4:1:1。

6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:步骤4)中,磨球、所述原料、去离子水的重量配比为3:1:1。

7.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤7)中的排胶温度为450℃。

8.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤8)中的升温速率为2.5℃/min。

9.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤9)中的烧银温度为800℃。

10.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤10)中的硅油温度为25℃、电场强度为2~2.3KV/㎜、极化时间为30min。

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