[发明专利]三元系PSN-PZT压电陶瓷片及其制备方法在审
申请号: | 201711440479.0 | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN108275998A | 公开(公告)日: | 2018-07-13 |
发明(设计)人: | 戴昭波;刘长流;张珍宣;张玉芬;陈键;高智红 | 申请(专利权)人: | 贵州振华红云电子有限公司;贵州振华电子信息产业技术研究有限公司 |
主分类号: | C04B35/491 | 分类号: | C04B35/491;C04B35/622 |
代理公司: | 贵阳春秋知识产权代理事务所(普通合伙) 52109 | 代理人: | 杨云 |
地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 三元系 压电陶瓷片 配方化学 烘干 过筛 计量 机电耦合系数 陶瓷片表面 压电执行器 极化处理 介电常数 聚乙烯醇 驱动晶片 压电常数 陶瓷片 压电泵 原料球 被银 成坯 晶片 排胶 球磨 烧银 预烧 造粒 压制 | ||
1.一种三元系PSN-PZT压电陶瓷片,其特征在于配方化学计量通式为:Pb1-x-yMxZy(Sb1/3Nb2/3)0.02(Zr1/2Ti1/2)0.98+zwt%Bi2O3,其中,x=0~0.17、y=0~0.1、z=0~0.4,M、Z为SrCO3、BaCO3或CaCO3中的至少两种。
2.根据权利要求1所述的三元系PSN-PZT压电陶瓷片,其特征在于:所述配方化学计量通式中的0<x≤0.15、0<y≤0.1、0<z≤0.4。
3.根据权利要求1所述的三元系PSN-PZT压电陶瓷片,其特征在于:所述配方化学计量通式中的0.07<x<0.14,0<y<0.08,0<z≤0.35。
4.一种制备权利要求1~3中任意一项所述的三元系PSN-PZT压电陶瓷片的方法,其特征在于其制备方法如下:
1)将所述配方化学计量通式中的原料与去离子水混合、球磨4h,得到第一浆料;球磨机转速为480r/min;
2)将所述第一浆料于110~130℃下烘干,粉碎、过40~60目筛,得第一筛下物;
3)将所述第一筛下物置于炉内,按2.5℃/min的速率升温至950~1150℃、保温2~4h,冷却,得预烧物料;
4)将所述预烧物料与去离子水混合、再次球磨4h,得到第二浆料;球磨机转速为480r/min;
5)将所述第二浆料于110~130℃下烘干,粉碎、过40~60目筛,得第二筛下物;
6)将所述第二筛下物与聚乙烯醇混合、造粒,压制成坯件;聚乙烯醇的添加量为第二筛下物的3~7wt%;
7)将所述坯件置于炉内,按0.5~1.5℃/min的速率升温至350~630℃、保温排胶240~480min;
8)将排胶后的坯件置于炉内,按2.3~2.8℃/min的速率升温至1200~1280℃、保温2~4h,随炉冷却,得陶瓷片;
9)在所述陶瓷片的表面涂覆银电极浆料,然后790~850℃烧银固化;
10)将经过被电极处理的陶瓷片置于20~60℃的硅油中,在1.5~2.5KV/㎜电场强度下极化23~30min。
5.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤1)中,磨球、所述原料、去离子水的重量配比为2.2~4.4:1:1。
6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:步骤4)中,磨球、所述原料、去离子水的重量配比为3:1:1。
7.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤7)中的排胶温度为450℃。
8.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤8)中的升温速率为2.5℃/min。
9.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤9)中的烧银温度为800℃。
10.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于:步骤10)中的硅油温度为25℃、电场强度为2~2.3KV/㎜、极化时间为30min。
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