[发明专利]一种高纯氟气压缩机

权利要求书

1.一种高纯氟气压缩机，其特征在于：包括沿自身长度方向固定连接的导向气缸和工作气缸以及驱动机构，所述导向气缸和工作气缸内分别设置有导向活塞和工作活塞；驱动机构能够带动导向活塞沿导向气缸长度方向往复运动，工作活塞能够跟随导向活塞运动，导向气缸和工作气缸之间设置有一将两个气缸分隔开的膜片，工作气缸远离导向气缸的一端设置有吸气口和排气口，吸气口连接有高纯氟气发生装置。

2.根据权利要求1所述的一种高纯氟气压缩机，其特征在于：所述工作气缸远离导向气缸一端固定设置有一缸盖，所述缸盖中间设置有一挡板将缸盖分隔成两个独立的吸气腔和排气腔；吸气腔一侧的缸盖壁上设置有与外界连通的吸气通道，排气腔一侧的缸盖壁上设置有与外界连通的排气通道；吸气口将吸气腔与工作气缸连接，排气口将排气腔与工作气缸连接。

3.根据权利要求2所述的一种高纯氟气压缩机，其特征在于：所述吸气口处设置有一吸气阀，排气口处设置有一排气阀，工作气缸内压强降低时，吸气阀打开，排气阀关闭；工作气缸内压强升高时，排气阀打开，吸气阀关闭。

4.根据权利要求3所述的一种高纯氟气压缩机，其特征在于：所述吸气阀和排气阀均为单向阀，排气阀处设置有一限制排气阀开口大小的升程限制器。

5.根据权利要求1所述的一种高纯氟气压缩机，其特征在于：所述工作活塞中间设置有一连接轴，连接轴穿过膜片连接导向活塞，膜片表面能够跟随导向活塞改变位置。

6.根据权利要求5所述的一种高纯氟气压缩机，其特征在于：导向气缸与工作气缸通过螺栓固定连接，膜片被夹持在导向气缸与工作气缸之间，膜片与导向活塞和工作活塞连接处以及与连接轴连接处均密封设置。

7.根据权利要求1所述的一种高纯氟气压缩机，其特征在于：驱动机构之前还设置有磁流体。

8.根据权利要求7所述的一种高纯氟气压缩机，其特征在于：所述驱动机构为电机，导向气缸连接有曲轴箱，磁流体与曲轴箱固定连接，电机与磁流体同轴固定，磁流体的转轴延伸到曲轴箱中并与导向气缸的长度方向垂直，转轴上设置有一偏心块，偏心块通过连杆连接导向活塞。

9.根据权利要求8所述的一种高纯氟气压缩机，其特征在于：偏心块通过一轴承与连杆连接，轴承内环与偏心块固定连接，轴承外环与连杆固定连接。

10.根据权利要求8所述的一种高纯氟气压缩机，其特征在于：偏心块两侧的转轴轴上分别设置有平衡块和飞轮，飞轮靠近磁流体。