[发明专利]电致发光显示装置及其制造方法有效
申请号: | 201711442689.3 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN108281459B | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 白承汉;李贞源;余宗勳;李智勳 | 申请(专利权)人: | 乐金显示有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 刘久亮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电致发光 显示装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种制造电致发光显示装置的方法,所述方法包括如下步骤:
在基板上形成薄膜晶体管;
在所述薄膜晶体管上形成平坦化层;
去除所述平坦化层的选定区域,以形成暴露所述薄膜晶体管的接触孔;
通过使用无机材料在所述平坦化层上形成第一堤部,其中,所述第一堤部具有第一开口区域,所述第一开口区域暴露所述平坦化层和所述接触孔;
在通过所述第一堤部暴露的所述基板上的区域中形成阳极电极,所述阳极电极从所述第一堤部的一侧延伸至另一侧,并且所述阳极电极通过所述接触孔连接到所述薄膜晶体管;
在所述阳极电极的第一侧和第二侧以及所述第一堤部的每一个上形成包括有机材料的第二堤部,其中,所述第二堤部具有暴露所述阳极电极的第二开口区域,并且所述第二开口区域比所述第一开口区域宽;
在通过所述第二堤部暴露的所述阳极电极的上表面上形成发光层;以及
在所述发光层上形成阴极电极,
其中,所述第二堤部的侧部与所述阳极电极直接接触。
2.根据权利要求1所述的方法,形成所述第二堤部的步骤包括:
沉积有机材料的覆盖层;以及
蚀刻掉所述覆盖层的一部分,以形成用于暴露所述阳极电极的所述第二开口区域。
3.一种由根据权利要求1和2中的任一项的方法制造的电致发光显示装置,包括:
位于基板上的薄膜晶体管;
位于所述薄膜晶体管上的平坦化层;
暴露所述薄膜晶体管的至少一部分的接触孔;
位于所述平坦化层上的第一堤部;
位于所述第一堤部中的第一开口区域,所述第一开口区域暴露所述平坦化层和所述接触孔;
阳极电极,所述阳极电极从所述第一堤部的一侧延伸至另一侧,以覆盖所述第一堤部的每一侧上的一部分、所述接触孔以及通过所述第一堤部暴露的所述平坦化层的区域,其中,所述第一开口区域内的所述阳极电极延伸穿过所述平坦化层以通过所述接触孔连接到所述薄膜晶体管;
第二堤部,所述第二堤部定位成覆盖所述阳极电极的第一侧和第二侧以及所述第一堤部,其中,所述第二堤部具有暴露所述阳极电极的第二开口区域,并且所述第二开口区域比所述第一开口区域宽;
发光层,所述发光层位于通过所述第二堤部暴露的所述阳极电极的上表面上;和
位于所述发光层上的阴极电极,
其中所述第一堤部与所述接触孔分隔开并且所述阳极电极不穿过所述第一堤部。
4.根据权利要求3所述的电致发光显示装置,其中:
所述第一堤部包括无机材料,并且
所述第二堤部的上表面包括具有疏水性的有机材料。
5.根据权利要求3所述的电致发光显示装置,其中所述第一堤部的侧表面相对于所述基板的表面以确定角度倾斜。
6.根据权利要求3所述的电致发光显示装置,其中被所述阳极电极覆盖的所述第一堤部的端部区域具有选定角度的斜面。
7.根据权利要求6所述的电致发光显示装置,其中所述选定角度为大约45°。
8.根据权利要求6所述的电致发光显示装置,其中所述选定角度小于45°且大于30°。
9.根据权利要求6所述的电致发光显示装置,其中所述选定角度小于40°且大于25°。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的