[发明专利]一种固晶辅助设备及固晶机

权利要求书

1.一种固晶辅助设备，其特征在于，包括：

显微镜装置，其包括工作台A和显微镜，所述工作台A用于放置带有芯片矩阵和晶片的载体，所述显微镜设于所述工作台A上方，用于放大所述载体上芯片矩阵和晶片的图像；

第一机器视觉检测装置，其包括相机和图像处理分析主机，所述相机设于所述显微镜目镜上方，用于获取所述载体上芯片矩阵和晶片的图像，所述图像处理分析主机电连接所述相机，用于对所述载体上芯片矩阵和晶片的图像进行处理并获取所述晶片相对所述芯片矩阵的当前位置；

推移装置，其包括推头、第一运动机构以及第一控制系统，所述推头用于推移所述晶片，所述第一运动机构驱动连接所述推头，用于根据第一控制指令将所述推头自所述当前位置移送至设定位置，所述第一控制系统电连接所述图像处理主机和所述第一运动机构，用于根据所述当前位置和所述设定位置向所述第一运动机构发出第一控制指令；

其中，所述第一运动机构为三维精密移动平台。

2.根据权利要求1所述的固晶辅助设备，其特征在于，所述三维精密移动平台的精度为1-3um。

3.根据权利要求1所述的固晶辅助设备，其特征在于，所述显微镜支架可调节设置。

4.根据权利要求1所述的固晶辅助设备，其特征在于，所述相机为CCD相机。

5.一种固晶机，包括用于放置胶体的胶盘、用于放置晶片的载物台、用于放置载体的工作台B、用于根据设定程序将所述胶盘中的胶体转移到工作台B上的载体上的点胶装置以及用于根据设定程序将所述载物台上的晶片转移到所述工作台上的载体上的取放装置，其特征在于，所述固晶机还包括如权利要求1至4任一所述的固晶辅助设备。

6.根据权利要求5所述的固晶机，其特征在于，所述点胶装置包括点胶头、第二运动机构以及第二控制系统，所述点胶头用于自所述胶盘沾取胶体和将胶体转移到所述工作台B上的载体上，所述第二运动机构驱动连接所述点胶头，用于根据第二控制指令将所述点胶头自所述胶盘移送到所述工作台B，所述第二控制系统电连接所述第二运动机构，用于向所述第二运动机构发出第二控制指令。

7.根据权利要求6所述的固晶机，其特征在于，所述第二控制系统根据控制程序向所述第二运动机构发出第二控制指令或根据第二机器视觉检测装置检测到的载体相对所述胶盘的当前位置和设定位置向所述第二运动机构发出第二控制指令。

8.根据权利要求5所述的固晶机，其特征在于，所述取放装置包括吸嘴、第三运动机构以及第三控制系统，所述吸嘴用于自所述载物台吸取晶片和将晶片放置于所述工作台B上的载体上，所述第三运动机构驱动连接所述吸嘴，用于根据第三控制指令将所述吸嘴自所述载物台移送到所述工作台B，所述第三控制系统电连接所述第三运动机构，用于向所述第三运动机构发出第三控制指令。

9.根据权利要求8所述的固晶机，其特征在于，所述第三控制系统根据控制程序向所述第三运动机构发出第三控制指令或根据第三机器视觉检测装置检测到的载体相对所述载物台的当前位置和设定位置向所述第三运动机构发出第三控制指令。

10.根据权利要求5所述的固晶机，其特征在于，所述点胶装置和所述取放装置均为摆臂式结构。