[发明专利]喷墨打印膜层的干燥方法、加热装置及其制造方法在审
申请号: | 201711446019.9 | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN108091778A | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 邓联谱 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 膜层 加热单元 喷墨打印 加热装置 加热干燥 衬底 边缘效应 单个像素 电性连接 分区加热 干燥过程 间隔设置 温度可控 平坦度 像素 发热 制造 调控 | ||
1.一种加热装置,其特征在于,所述加热装置包括衬底及设在所述衬底上的多个间隔设置的加热单元,多个所述加热单元之间电性连接,每个所述加热单元对应待加热干燥的喷墨打印膜层中的一个像素。
2.如权利要求1所述的加热装置,其特征在于,每个所述加热单元的膜层厚度由所述加热单元的中心区域向所述加热单元的边缘区域递增。
3.如权利要求1所述的加热装置,其特征在于,所述加热装置还包括多个连接导线,每两个所述加热单元通过一个所述连接导线连接。
4.一种加热装置的制造方法,其包括以下步骤:
在衬底上形成多个间隔设置的加热单元,多个所述加热单元之间电性连接,每个所述加热单元对应待加热干燥的喷墨打印膜层中的一个像素。
5.如权利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述在衬底上形成多个间隔设置的加热单元,多个加热单元之间电性连接,每个所述加热单元对应待加热干燥的喷墨打印膜层中的一个像素,还包括:采用喷墨打印方法,将电热溶液打印在所述衬底上形成所述加热膜层。
6.如权利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述在衬底上形成多个间隔设置的加热单元,多个所述加热单元之间电性连接,每个所述加热单元对应待加热干燥的喷墨打印膜层中的一个像素,还包括:控制每个所述加热单元形成的膜层厚度,每个所述加热单元的膜层厚度由所述加热单元的中心区域向所述加热单元的边缘区域递增。
7.如权利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述在衬底上形成多个间隔设置的加热单元,多个所述加热单元之间电性连接,每个所述加热单元对应待加热干燥的喷墨打印膜层中的一个像素,包括:在所述衬底上形成多个间隔设置的连接导线,每两个连接导线之间形成配置区;及
在所述衬底上形成多个间隔设置的加热单元,每个所述加热单元位于一个所述配置区,每两个所述加热单元通过一个连接导线电性连接。
8.如权利要求7所述的制造方法,其特征在于,所述在所述衬底上形成多个间隔设置的连接导线,每两个连接导线之间形成配置区,包括:通过喷墨打印方式,在所述衬底上形成连接导线。
9.如权利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述在衬底上形成多个间隔设置的加热单元,多个所述加热单元之间电性连接,每个所述加热单元对应待加热干燥的喷墨打印膜层中的一个像素,还包括:采用喷墨打印方法,通过一具预制图案的辅助件将电热溶液打印在所述衬底上,进而在所述衬底上形成多个所述加热单元。
10.一种喷墨打印膜层的干燥方法,其特征在于,所述干燥方法包括以下步骤:将喷墨打印膜层与权利要求1至3任意一项所述的加热装置进行对位,所述喷墨打印膜层中的每个像素对应一个加热单元;及
控制所述加热装置通电,加热干燥所述喷墨打印膜层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择