[发明专利]研磨头

权利要求书

1.一种研磨头，其在下表面保持工件而旋转，将工件压靠在定盘的研磨垫上从而研磨工件，该研磨头的特征在于，具有：

头主体；

承载体，其借助于呈环状的柔性的隔膜而与该头主体连结，在下表面侧保持所述工件；

压力室，其设置成被所述头主体的下表面、所述隔膜和所述承载体的上表面包围；

流体供给部，其对该压力室供给流体；

直动导引件，其具有外侧筒体和花键轴，该外侧筒体与所述头主体的旋转轴线同轴配置地固定于所述头主体，该花键轴以这样的方式配置在该外侧筒体内：能够沿轴线方向活动自如，并且该花键轴相对于所述外侧筒体以轴线为中心的旋转被限制，所述头主体的旋转力经由所述外侧筒体而被传递至该花键轴；以及

旋转传递板，其配设在所述花键轴的下端部与所述承载体的上表面之间，将所述承载体支承为倾动自如，并且将所述花键轴的旋转力传递给所述承载体，

所述旋转传递板构成为环状的板体，该环状的板体被设置成横跨在所述花键轴的下端设置的凸缘部以及在所述承载体的上表面设置的筒体上缘，

在所述凸缘部、所述旋转传递板、所述筒体以及所述承载体的上表面之间所形成的室与所述压力室连通，

所述承载体的整个上表面通过所述压力室而被以均匀的力按压，

所述承载体具有：承载体主体；以及保持板，其隔着空气室安装在该承载体主体的下表面侧，并且具有与该空气室连通且在下表面侧开口的通孔，

所述研磨头具有供排路，该供排路相对于所述空气室供给空气或者排出空气，

在所述凸缘部、所述旋转传递板、所述筒体以及所述承载体的上表面之间所形成的室与所述空气室不连通。

2.根据权利要求1所述的研磨头，其特征在于，

所述直动导引件是滚珠花键。

3.根据权利要求1所述的研磨头，其特征在于，

所述保持板由陶瓷板构成，并隔着截面呈大致X字状的环状的弹性体而安装于所述承载体主体。

4.根据权利要求1或2所述的研磨头，其特征在于，

所述承载体具有：

保持环，其设置在所述承载体主体的下表面侧外周部，在工件研磨时包围待研磨的工件，并且与所述定盘的研磨垫抵接；

弹性膜部件，其以覆盖所述保持板的下表面侧的方式在外周部固定于所述保持环；

第2压力室，其被所述保持板的下表面、所述保持环的内周面和所述弹性膜部件的上表面包围；以及

流路，其从所述空气室和所述通孔向该第2压力室供给空气。

5.根据权利要求4所述的研磨头，其特征在于，

所述保持环具有环状的模板，该模板在工件研磨时包围工件，并且与所述定盘的研磨垫抵接。

6.根据权利要求5所述的研磨头，其特征在于，

在所述保持环上具有利用流体压力来按压所述模板的流路。

7.根据权利要求1或2所述的研磨头，其特征在于，

所述直动导引件抑制由于研磨时产生的摩擦力而导致的承载体的横向偏移，从而进行承载体的定心。

8.根据权利要求1或2所述的研磨头，其特征在于，

所述研磨头的头主体与承载体借助于柔性的隔膜而连结，从头主体到承载体的高度能够变更，使所述高度在基准值±1.5mm的范围内变更，高度变更后施加给研磨垫的载荷的变化量相对于高度为基准值时的载荷不超过±2％。

9.根据权利要求1或2所述的研磨头，其特征在于，

在研磨加工时的所述头主体的高度位置调整中，允许所述头主体的高度处于基准位置±1.5mm的范围内，并且能够维持所述头主体的高度位于基准位置时的载荷。