[发明专利]一种气浮式平面度检测装置

权利要求书

1.一种气浮式平面度检测装置，其特征在于：包括底座、轴套组件、气浮轴及旋转吸盘，所述底座设置有气孔和安装槽，所述气孔安装有外接于气源的接头，所述安装槽内设置有底座镶件，所述底座镶件与所述安装槽形成环形气槽，所述底座镶件一体成型地设置有斜向气孔，所述环形气槽与所述气孔相连通，所述底座与所述底座镶件均设置有安装孔，所述轴套组件套设于所述气浮轴外部，所述气浮轴均安装于所述安装孔内，所述气浮轴设置有驱动气槽，所述斜向气孔与所述安装孔相连通，并与所述驱动气槽相互形成气动联动，所述旋转吸盘通过固定螺丝安装于所述气浮轴的顶端，随所述气浮轴进行旋转运动，所述轴套组件设置有气路通道，所述气路通道与所述气孔相互连通。

2.根据权利要求1所述气浮式平面度检测装置，其特征在于：所述轴套组件包括外套、上气浮套、定距环及下气浮套，所述下气浮套和所述外套依次套设于所述气浮轴外部，所述上气浮套卡设于所述底座上，所述定距环和所述上气浮套依次安装于所述下气浮套上，所述上气浮套的端面处设置有端盖，所述上气浮套和所述下气浮套均设置有用于安装所述气浮轴的所述安装孔。

3.根据权利要求2所述气浮式平面度检测装置，其特征在于：所述外套设置有与所述气孔相连通的气流道，所述外套的内侧壁上设置有若干个气流槽，所述气流槽均与所述气流道相连通，所述下气浮套外侧壁设置有与所述气流槽相连通的气流孔，所述定距环设置有与所述气流道相连通的导气孔，所述上气浮套的端面处设置有端面气槽，所述端面气槽通过所述上气浮套内部气路与所述导气孔相连通，所述下气浮套具有与所述气流孔相连通的气道，所述气道与所述安装孔相连通，并向所述气浮轴供气。

4.根据权利要求3所述气浮式平面度检测装置，其特征在于：所述上气浮套和所述下气浮套通过所述定距环形成封闭的气腔，所述上气浮套内部的所述气路和所述下气浮套的所述气道均分别与所述气腔相连通，所述气浮轴一体成型地设置有飞盘，所述飞盘位于所述气腔内，所述气路和所述气道分别位于所述飞盘的两端，通过供气使所述飞盘形成气膜，使其脱离所述上气浮套和所述下气浮套。

5.根据权利要求1所述气浮式平面度检测装置，其特征在于：所述气孔包括主气孔和调节气孔，所述主气孔与所述气流道相连通，所述调节气孔与所述环形气槽相连通。

6.根据权利要求1所述气浮式平面度检测装置，其特征在于：所述底座设置有排气孔，所述排气孔与所述安装孔相连通。